华南理工殷盼超教授 Angew:聚合物亚纳米粒子超分子复合膜用于高精度纳米压印
高分子科技
2024-12-24 13:02
文章摘要
华南理工大学殷盼超教授团队开发了一种新型的超分子复合膜,用于高精度纳米压印(NIL)。该复合膜由聚乙烯醇(PVA)和亚纳米尺度的Keggin型多金属氧簇(POM)组成,通过水溶液共混制备,具有低残余应力、高透光性、高强度和高模量等特性。这种材料在室温下和低压印压力条件下,能够实现亚2 nm分辨率的纳米压印,适用于高曲率表面和多种物理化学性质表面的微纳结构转印。该研究解决了传统纳米压印技术中高温度和高压力的限制问题,为集成电路和光波导材料等领域的先进制造提供了新的可能性。
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