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Nature Materials：晶圆级MoS2制备新方法

材料人 2025-01-17 09:33
文章摘要
本文介绍了北京科技大学张跃院士及张铮教授团队在《Nature Materials》上发表的研究成果，提出了一种名为“二维Czochralski（2DCZ）”的新方法，用于大规模生产高质量的二维过渡金属二硫族化物（TMDCs），特别是MoS2单晶。该方法在常压下快速生长出厘米级尺寸、无晶界的单晶MoS2，展现出卓越的均匀性和高质量，具有极低的缺陷密度。通过这种方法制造的场效应晶体管显示出高器件良率和最小迁移率变化，为下一代集成电路的制造提供了重要的材料基础。研究还详细描述了2DCZ方法的机理、MoS2的转移过程及其在集成电路中的应用潜力。
Nature Materials：晶圆级MoS2制备新方法
查看文献： Two-dimensional Czochralski growth of single-crystal MoS2
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