ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТОЛЩИНЫ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО МАТЕРИАЛА НА ЕГО РАЗРЕШАЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ В УСЛОВИЯХ ПРОИЗВОДСТВА МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ПЛАТ И КОРПУСОВ МИКРОСХЕМ

ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТОЛЩИНЫ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО МАТЕРИАЛА НА ЕГО РАЗРЕШАЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ В УСЛОВИЯХ ПРОИЗВОДСТВА МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ПЛАТ И КОРПУСОВ МИКРОСХЕМ

Pub Date : 1900-01-01 DOI: 10.46916/17112021-3-978-5-00174-374-3 Е. Е. Ермолаев, Павел Юрьевич Ермолаев