ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТОЛЩИНЫ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО МАТЕРИАЛА НА ЕГО РАЗРЕШАЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ В УСЛОВИЯХ ПРОИЗВОДСТВА МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ПЛАТ И КОРПУСОВ МИКРОСХЕМ
{"title":"ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТОЛЩИНЫ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО МАТЕРИАЛА НА ЕГО РАЗРЕШАЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ В УСЛОВИЯХ ПРОИЗВОДСТВА МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ПЛАТ И КОРПУСОВ МИКРОСХЕМ","authors":"Е. Е. Ермолаев, Павел Юрьевич Ермолаев","doi":"10.46916/17112021-3-978-5-00174-374-3","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"","PeriodicalId":128580,"journal":{"name":"ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТОЛЩИНЫ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО МАТЕРИАЛА НА ЕГО РАЗРЕШАЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ В УСЛОВИЯХ ПРОИЗВОДСТВА МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ПЛАТ И КОРПУСОВ МИКРОСХЕМ","volume":"39 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"1900-01-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТОЛЩИНЫ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО МАТЕРИАЛА НА ЕГО РАЗРЕШАЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ В УСЛОВИЯХ ПРОИЗВОДСТВА МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ПЛАТ И КОРПУСОВ МИКРОСХЕМ","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.46916/17112021-3-978-5-00174-374-3","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}