ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТОЛЩИНЫ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО МАТЕРИАЛА НА ЕГО РАЗРЕШАЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ В УСЛОВИЯХ ПРОИЗВОДСТВА МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ПЛАТ И КОРПУСОВ МИКРОСХЕМ最新文献
Pub Date : 1900-01-01DOI: 10.46916/17112021-3-978-5-00174-374-3
Е. Е. Ермолаев, Павел Юрьевич Ермолаев
{"title":"ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТОЛЩИНЫ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО МАТЕРИАЛА НА ЕГО РАЗРЕШАЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ В УСЛОВИЯХ ПРОИЗВОДСТВА МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ПЛАТ И КОРПУСОВ МИКРОСХЕМ","authors":"Е. Е. Ермолаев, Павел Юрьевич Ермолаев","doi":"10.46916/17112021-3-978-5-00174-374-3","DOIUrl":"https://doi.org/10.46916/17112021-3-978-5-00174-374-3","url":null,"abstract":"","PeriodicalId":128580,"journal":{"name":"ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТОЛЩИНЫ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО МАТЕРИАЛА НА ЕГО РАЗРЕШАЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ В УСЛОВИЯХ ПРОИЗВОДСТВА МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ПЛАТ И КОРПУСОВ МИКРОСХЕМ","volume":"39 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0,"publicationDate":"1900-01-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"122020123","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}
ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТОЛЩИНЫ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО МАТЕРИАЛА НА ЕГО РАЗРЕШАЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ В УСЛОВИЯХ ПРОИЗВОДСТВА МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКИХ ПЛАТ И КОРПУСОВ МИКРОСХЕМ