Advanced Lithography

888

微信好友朋友圈 QQ好友复制链接

查看最新文献

发文信息

Advanced Lithography - 最新文献

查看全部

Electron beam and optical patterning of polymerizable ionic liquid-based resists

Pub Date : 2023-05-01 DOI: 10.1117/12.2658445 N. Turek, Andrea Szpecht, Aleksandra Szymańska, T. Stefaniuk, K. Komorowska

Pattern fidelity improvement of DSA hole patterns

Pub Date : 2023-05-01 DOI: 10.1117/12.2658245 M. Muramatsu, T. Nishi, Kiyohito Ito, Yoshihito Takahashi, Yasunori Hatamura, T. Kitano, Tomohiro Iwaki

AppliedPRO: process recipe optimizer for R&D acceleration and beyond

Pub Date : 2023-05-01 DOI: 10.1117/12.2661320 Deepak Gupta, Sravan Nandakumar, T. Miyagi, Oliver Jan, W. Bishara, St Chiou, Kyeong-tae Lee, Andre Kim, Sangdoo Kim, Young-Soo Um, Ki-il Kim, Changbae Park, Myeonggil Shin, K. Bai

免责声明：
本页显示期刊或杂志信息，仅供参考学习，不是任何期刊杂志官网，不涉及出版事务，特此申明。如需出版一切事务需要用户自己向出版商联系核实。若本页展示内容有任何问题，请联系我们，邮箱：info@booksci.cn，我们会认真核实处理。

Book学术文献互助群
群号：481959085

文献互助智能选刊最新文献互助须知联系我们：info@booksci.cn