2015 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

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发文信息

Pub Date : 2015-07-07 DOI: 10.1109/MEMSYS.2015.7050925 S. Shmulevich, Inbar Hotzen, D. Elata

Pub Date : 2015-03-02 DOI: 10.1109/MEMSYS.2015.7050871 T. Liu, C. Kim

Pub Date : 2015-03-02 DOI: 10.1109/MEMSYS.2015.7051159 M. Kim, M. K. Kim, H. Ahn, Y. Kim

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