{"title":"Процессы формирования упорядоченных двумерных фаз кремния (пористого\nсилицена) на поверхности g-Si3N3/Si(111)","authors":"В.Г. Мансуров, Ю. Г. Галицын, Т. В. Малин","doi":"10.34077/rcsp2021-67","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"В данной работе исследовались процессы формирования упорядоченных фаз кремния и\nвозможность синтеза силицена на графеноподобных слоях g-Si3N3 и g-AlN, которые предварительно\nформировались на поверхности Si(111), по технологии предложенной нами ранее.","PeriodicalId":356596,"journal":{"name":"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ","volume":"13 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2021-09-27","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.34077/rcsp2021-67","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
引用次数: 0
Abstract
В данной работе исследовались процессы формирования упорядоченных фаз кремния и
возможность синтеза силицена на графеноподобных слоях g-Si3N3 и g-AlN, которые предварительно
формировались на поверхности Si(111), по технологии предложенной нами ранее.