Исследование метода термального атомно-слоевого осаждения для создания функциональных покрытий TiO2 на макропористой кремниевой подложке

Uzbek journal of physics Pub Date : 2023-10-07 DOI:10.52304/.v25i3.456

Т.К. Турдалиев, Р.Х. Ашуров, Х.Х. Зохидов

{"title":"Исследование метода термального атомно-слоевого осаждения для создания функциональных покрытий TiO2 на макропористой кремниевой подложке","authors":"Т.К. Турдалиев, Р.Х. Ашуров, Х.Х. Зохидов","doi":"10.52304/.v25i3.456","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Макропористая кремниевая подложка, полученная электрохимическим травлением, характеризуется равномерным распределением пор. Для нанесения пленки TiO2 применен метод термального атомно-слоевого осаждения, также исследованы особенности процесса и оптимизированы его параметры. Результаты исследования подтверждены спектральной эллипсометрией, сканирующей электронной микроскопией и элементным анализом с использованием SEM EDS. Исследования показывают эффективность метода для однородного нанесения тонких пленок TiO2 на макропористые кремниевые подложки.","PeriodicalId":498992,"journal":{"name":"Uzbek journal of physics","volume":"12 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2023-10-07","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Uzbek journal of physics","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.52304/.v25i3.456","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}

引用次数: 0

Abstract

Макропористая кремниевая подложка, полученная электрохимическим травлением, характеризуется равномерным распределением пор. Для нанесения пленки TiO2 применен метод термального атомно-слоевого осаждения, также исследованы особенности процесса и оптимизированы его параметры. Результаты исследования подтверждены спектральной эллипсометрией, сканирующей электронной микроскопией и элементным анализом с использованием SEM EDS. Исследования показывают эффективность метода для однородного нанесения тонких пленок TiO2 на макропористые кремниевые подложки.

查看原文