Tetsuhide Shimizu, M. Villamayor, J. Kéraudy, D. Lundin, U. Helmersson
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Abstract
346 平成28年11月30日 第57回真空に関する連合講演会で発表 1 首都大学東京大学院システムデザイン研究科知能機械システム 学域(〒1910065 東京都日野市旭が丘 66) 2 リンシェーピン大学 計測・物理学研究科(SE 58183 リン シェーピン,スウェーデン) 3 パリ第11大学 ガス・プラズマ物理研究所(91405 オル セー,フランス) Fig. 1 Cathode voltage and current waveforms measured during HiPIMS of TiAl alloy in Ar/N2 gas mixtures at a constant mean power of 8 kW, a frequency of 1 kHz, a pulse length of 50 ms, and a working pressure of 0.5 Pa.
346平成28年11月30日第57届真空相关的联合演讲会上发表1首都东京大学研究生院学科智能机械系统设计系统研究区域(〒19165东京都日野市旭が丘66)2リンシェーピン大学测量、物理学研究科(se 58183林シェーピン,瑞典)3巴黎第11大学气体、等离子物理研究所(91405奥尔セー,法国)fig . 1Cathode voltage and current waveforms measured during HiPIMS of TiAl alloy in Ar/N2 gas mixtures atconstant mean power of 8kw, afrequency of 1khz, apulse length of 50ms，and a工作pressure of 0.5 Pa。
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