Формирование биосовместимых SiC-нанотрубок "сверху-вниз"

Физика и техника полупроводников Pub Date : 2023-01-01 DOI:10.21883/ftp.2023.05.56201.28k

А Д Буравлев, А.Н. Казакин, Ю. А. Нащекина, А. В. Нащекин, Е.В. Убыйвовк, В.А. Астраханцева, Андрей Викторович Осипов, Г.В. Святец, Сергей Арсеньевич Кукушкин

{"title":"Формирование биосовместимых SiC-нанотрубок \"сверху-вниз\"","authors":"А Д Буравлев, А.Н. Казакин, Ю. А. Нащекина, А. В. Нащекин, Е.В. Убыйвовк, В.А. Астраханцева, Андрей Викторович Осипов, Г.В. Святец, Сергей Арсеньевич Кукушкин","doi":"10.21883/ftp.2023.05.56201.28k","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"При проведении экспериментов по синтезу слоев карбида кремния на монокристаллических подложках кремния с помощью метода согласованного замещения атомов обнаружено, что образование тонких пленок карбида кремния может сопровождаться формированием массивов нанотрубок карбида кремния произрастающих в глубь кремниевых подложек. Таким образом, впервые обнаружен новый механизм образования карбид-кремниевых нанотрубок ---\"сверху-вниз\". Ключевые слова: карбид кремния, нанотрубки, пар-жидкость-кристалл, формирование наноструктур.","PeriodicalId":24054,"journal":{"name":"Физика и техника полупроводников","volume":"3 1","pages":""},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2023-01-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Физика и техника полупроводников","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.21883/ftp.2023.05.56201.28k","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}

引用次数: 0

Abstract

При проведении экспериментов по синтезу слоев карбида кремния на монокристаллических подложках кремния с помощью метода согласованного замещения атомов обнаружено, что образование тонких пленок карбида кремния может сопровождаться формированием массивов нанотрубок карбида кремния произрастающих в глубь кремниевых подложек. Таким образом, впервые обнаружен новый механизм образования карбид-кремниевых нанотрубок ---"сверху-вниз". Ключевые слова: карбид кремния, нанотрубки, пар-жидкость-кристалл, формирование наноструктур.

查看原文