Выбор оптимальной структуры фоточувствительной гибридной сборки на охлаждаемом пьедестале криостата

Проведено сравнение известных способов фиксации фоточувствительной гибридной сборки на охлаждаемом пьедестале криостата. Оно осуществлялось на модели сборки, состоящей из пластин: GaAs / In / Si / GaAs (опциональный компенсационный слой). Способы фиксации: закрепление сборки, позволяющее свободно изгибаться при охлаждении, жесткое крепление сборки на сапфировом растре со стороны кремниевой микросхемы. Варьирование толщин в рамках сравниваемых способов фиксации, позволило выбрать оптимальную конструкцию крепления гибридной сборки в охлаждаемом криостате. Исследование проводилось с помощью радиально-симметричной модели, в которой напряжения при охлаждении моделировались методом конечных элементов. Диаметр всех слоёв равнялся 10 мм. Толщины слоёв GaAs и кремния варьировались от 50 мкм до 700 мкм, компенсационного слоя GaAs – от 0 мкм до 700 мкм. Толщина слоя сапфира бралась много больше исследованных толщин GaAs и кремния.