Proceedings of the IEEE 2004 International Interconnect Technology Conference (IEEE Cat. No.04TH8729)

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Optimal implementation of sea of leads (SoL) compliant interconnect technology

Pub Date : 2004-06-09 DOI: 10.1109/IITC.2004.1345703 B. Dang, C. Patel, H. Thacker, M. Bakir, K. Martin, J. Meindl

Film properties and integration performance of a nano-porous carbon doped oxide

Pub Date : 2004-06-09 DOI: 10.1109/IITC.2004.1345720 Girish Dixit, Lester A. D'Cruz, Sang-Wook Ahn, Yi Zheng, Josephine J. Chang, M. Naik, Alexandros T. Demos, D. Witty, Hichem M'Saad

A charge damage study using an electron beam low k treatment

Pub Date : 2004-06-07 DOI: 10.1109/IITC.2004.1345740 E. Micler, Ching-Te Li, A. Krishnan, C. Jin, M. Jain

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