IEEE/SEMI Conference on Advanced Semiconductor Manufacturing Workshop

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发文信息

Pub Date : 1990-09-11 DOI: 10.1109/ASMC.1990.111234 A. Resnick, E. Kamieniecki, H. Phelps, Donald A. Jackson

Pub Date : 1990-09-11 DOI: 10.1109/ASMC.1990.111217 E. H. Nicollian, S.-s. Chen, R. Tsu

Pub Date : 1990-09-11 DOI: 10.1109/ASMC.1990.111209 K.-K. Lin, C. Spanos

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