В данной работе была исследована возможность создания фоточувствительных структур ИКдиапазона на основе кремния, легированного селеном свыше предела растворимости (hyper doped silicon). Полученные результаты могут быть использованы в солнечной энергетике, а также для создания фотоприёмных устройств ИК-диапазона. В настоящее время тепловизионные системы ИК-диапазона получили широкое распространение в медицине, автомобильной промышленности, строительстве и т.д. Основой для создания фотонных детекторов служат соединения A IIIB V и АIIB VI , в то время как для тепловых детекторов используют материалы с высоким температурным коэффициентом сопротивления. И то, и другое создаёт определённые технологические трудности при интеграции фоточувствительных элементов с электронной схемой управления и усиления, выполненной по традиционной кремниевой технологии. В то же время, использование кремния для детектирования ИК-излучения затруднительно, в силу его большой ширины запрещенной зоны. Расширить диапазон поглощения кремнием ИК-излучения возможно, например, за счёт примесного поглощения, для чего необходимо легирование кремния примесями, образующими глубокие уровни [1]. Одним из наиболее подходящих для данных задач элементом является селен за счет большого сечения фотоионизации и низкого сечения захвата. Однако селен имеет достаточно низкий предел растворимости в кремнии и высокий коэффициент диффузии. Первое снижает максимально достижимый квантовый выход, а второе ограничивает плотность фоточувствительных элементов. Решить обе этих проблемы можно, используя для формирования фоточувствительного слоя быстрый термический отжиг. При этом удаётся сформировать субмикронные легированные слои с концентрацией селена, превышающей предел растворимости [2]. Была отработана технология импульсного отжига для создания фоточувствительного слоя на основе селена. Структура и состав полученных слоёв контролировались с помощью рамановских спектров и спектров поглощения. Концентрация свободных носителей определялась с помощью вольт-фарадных характеристик и эффекта Холла. Фотоэлектрические свойства слоя были исследованы при 77К на фотосопротивлениях и фотодиодах. Результаты подтверждают возможность создания фоточувствительных структур ИК-диапазона на основе кремния, легированного селеном свыше предела растворимости.
{"title":"Создание фотослоя на основе селена с помощью импульсного отжига","authors":"","doi":"10.34077/rcsp2019-23","DOIUrl":"https://doi.org/10.34077/rcsp2019-23","url":null,"abstract":"В данной работе была исследована возможность создания фоточувствительных структур ИКдиапазона на основе кремния, легированного селеном свыше предела растворимости (hyper doped\u0000silicon). Полученные результаты могут быть использованы в солнечной энергетике, а также для\u0000создания фотоприёмных устройств ИК-диапазона.\u0000В настоящее время тепловизионные системы ИК-диапазона получили широкое распространение в\u0000медицине, автомобильной промышленности, строительстве и т.д. Основой для создания фотонных\u0000детекторов служат соединения A\u0000IIIB\u0000V\u0000и АIIB\u0000VI\u0000, в то время как для тепловых детекторов используют\u0000материалы с высоким температурным коэффициентом сопротивления. И то, и другое создаёт\u0000определённые технологические трудности при интеграции фоточувствительных элементов с\u0000электронной схемой управления и усиления, выполненной по традиционной кремниевой технологии.\u0000В то же время, использование кремния для детектирования ИК-излучения затруднительно, в силу его\u0000большой ширины запрещенной зоны.\u0000Расширить диапазон поглощения кремнием ИК-излучения возможно, например, за счёт\u0000примесного поглощения, для чего необходимо легирование кремния примесями, образующими\u0000глубокие уровни [1]. Одним из наиболее подходящих для данных задач элементом является селен за\u0000счет большого сечения фотоионизации и низкого сечения захвата. Однако селен имеет достаточно\u0000низкий предел растворимости в кремнии и высокий коэффициент диффузии. Первое снижает\u0000максимально достижимый квантовый выход, а второе ограничивает плотность фоточувствительных\u0000элементов.\u0000Решить обе этих проблемы можно, используя для формирования фоточувствительного слоя\u0000быстрый термический отжиг. При этом удаётся сформировать субмикронные легированные слои с\u0000концентрацией селена, превышающей предел растворимости [2].\u0000Была отработана технология импульсного отжига для создания фоточувствительного слоя на\u0000основе селена. Структура и состав полученных слоёв контролировались с помощью рамановских\u0000спектров и спектров поглощения. Концентрация свободных носителей определялась с помощью\u0000вольт-фарадных характеристик и эффекта Холла. Фотоэлектрические свойства слоя были\u0000исследованы при 77К на фотосопротивлениях и фотодиодах. Результаты подтверждают возможность\u0000создания фоточувствительных структур ИК-диапазона на основе кремния, легированного селеном\u0000свыше предела растворимости.","PeriodicalId":118786,"journal":{"name":"Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «ФОТОНИКА-2019»","volume":"15 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0,"publicationDate":"2019-05-24","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"134003577","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}
Слои германия (Ge), легированные донорной примесью (P, As, Sb) с концентрацией N = 1019 -1020 см-3 , являются перспективным материалом для микроэлектроники, фотоники и сенсорной техники при создании быстродействующих полевых транзисторов, инфракрасных светодиодов, лазеров и фотоприемников, а также сенсоров различных химических веществ. Актуальной проблемой при формировании тонкопленочных гетероструктур на основе таких слоев, напр. Ge:Sb, является низкий уровень растворимости донорной примеси в Ge (или степень электрической активации), который в равновесных условиях роста, как правило, не превышает 1019 см-3 . Использование неравновесных методов получения сильно легированных слоев, таких как ионное со-распыление, ионная имплантация и импульсный наносекундный отжиг, может позволить преодолеть данную проблему. В данной работе сильно легированные слои Ge:Sb толщиной 0.1-0.3 мкм были получены двумя методами: (1) ионным распылением в вакууме композитной мишени с осаждением пленки на подложку p-Ge, (2) имплантацией ионов Sb+ в монокристалл p-Ge. Получаемые слои имели аморфную структуру, и для их кристаллизации и электрической активации донорной примеси Sb применялась импульсная (наносекундная) ионная обработка (ИИО) пучком ионов углерода и водорода (C + , H + ), а также импульсный лазерный отжиг (ИЛО) на длине волны 1.06 мкм импульсами микросекундной или наносекундной длительности. Во всех случаях отжиг проходил в жидкофазном режиме. Проводилось компьютерное моделирование импульсного нагрева аморфных слоев Ge и его данные сопоставлялись с экспериментом. С использованием широкого набора экспериментальных методов изучались структурные, оптические и электрические свойства облученных слоев Ge:Sb. Проведенное моделирование позволило оценить глубину, длительность расплава и температуру на поверхности Ge в процессе ИИО и ИЛО при различных режимах воздействий. Методом ВИМС установлена значительно более глубокая диффузия Sb в Ge при ИИО (до 1.5 мкм), чем при ИЛО, что связано с большей глубиной расплава. Определены режимы импульсного отжига, при которых на подложке p-Ge формировались эпитаксиальные слои n-Ge:Sb. Из измерений по Холлу, плазменному отражению и рентгеновской дифракции на вакуумно-осажденных и имплантированных слоях Ge:Sb получены высокие значения концентрации электронов проводимости вплоть до 5×1020 см-3 . Измерения фотолюминесценции при 300 К показали возрастание вклада от прямого перехода при 0.77 эВ (1610 нм) в слоях Ge:Sb после ИИО. Измерения фотопроводимости на диодной структуре nGe:Sb/p-Ge показали более интенсивный и расширенный до 2 мкм фотоотклик в сравнении с типовым Ge фотодиодом.
德国(Ge)由供体杂质(P、As、Sb)、N = 1019-1020厘米-3结合而成,是微电子、光子和传感器技术的首选材料,用于制造高速场晶体管、红外led、激光和各种化学物质传感器。在基于这些层的薄膜异质结构中,如Ge:Sb,一个关键问题是供体杂质在Ge(或幂电激活)中的溶解度低,在平衡生长条件下通常不超过1019c3。使用不平衡的合成层技术,如喷雾、离子植入和脉冲纳秒退火,可以解决这个问题。在这项工作中,高度合金的Ge层:Sb:厚度0.1-0.3 mkm是通过两种方法获得的:(1)在复合目标真空中离子雾化(1),将Sb+植入p-Ge单晶中。sbm是由供体混合物的晶体和电激活组成的,sbt使用了一种脉冲(c++、H+)离子处理(eo),以及脉冲激光退火,波长为1.06微秒或纳秒。在所有情况下,退火都是在液体相模式下进行的。计算机模拟了非晶形层的脉冲加热,其数据与实验相匹配。使用广泛的实验方法,研究了暴露在Ge:Sb层中的结构、光学和电特性。经过模拟,可以在不同的影响模式下评估熔融的深度、持续时间和温度。该方法将Sb扩展到通用io(1.5公里)中,而不是ilo,这与更大的熔融深度有关。脉冲退火模式已经确定,在p-Ge的基础上形成了n-Ge:Sb。在霍尔测量中,在真空包围和植入的Ge层中,等离子体反射和x射线衍射:导电性电子浓度高到5 1020厘米-3。300 k的光照荧光测量显示,在Ge层中,p0.77 ev (1610 nm)的直接跃迁增加了贡献。与stp光电二极管相比,nGe:Sb/p-Ge的光电导测量显示了更强烈和扩展到2 mkm的光电响应。
{"title":"Формирование светоизлучающих и фотодетектирующих в ИК-области тонкослойных\u0000структур Ge:Sb/Ge методами ионной имплантации, вакуумного осаждения и\u0000импульсного отжига","authors":"","doi":"10.34077/rcsp2019-163","DOIUrl":"https://doi.org/10.34077/rcsp2019-163","url":null,"abstract":"Слои германия (Ge), легированные донорной примесью (P, As, Sb) с концентрацией N = 1019\u0000-1020\u0000см-3\u0000, являются перспективным материалом для микроэлектроники, фотоники и сенсорной техники\u0000при создании быстродействующих полевых транзисторов, инфракрасных светодиодов, лазеров и\u0000фотоприемников, а также сенсоров различных химических веществ.\u0000Актуальной проблемой при формировании тонкопленочных гетероструктур на основе таких\u0000слоев, напр. Ge:Sb, является низкий уровень растворимости донорной примеси в Ge (или степень\u0000электрической активации), который в равновесных условиях роста, как правило, не превышает 1019\u0000см-3\u0000. Использование неравновесных методов получения сильно легированных слоев, таких как\u0000ионное со-распыление, ионная имплантация и импульсный наносекундный отжиг, может позволить\u0000преодолеть данную проблему.\u0000В данной работе сильно легированные слои Ge:Sb толщиной 0.1-0.3 мкм были получены двумя\u0000методами: (1) ионным распылением в вакууме композитной мишени с осаждением пленки\u0000на подложку p-Ge, (2) имплантацией ионов Sb+ в монокристалл p-Ge. Получаемые слои имели\u0000аморфную структуру, и для их кристаллизации и электрической активации донорной примеси Sb\u0000применялась импульсная (наносекундная) ионная обработка (ИИО) пучком ионов углерода и\u0000водорода (C\u0000+\u0000, H\u0000+\u0000), а также импульсный лазерный отжиг (ИЛО) на длине волны 1.06 мкм импульсами\u0000микросекундной или наносекундной длительности. Во всех случаях отжиг проходил в жидкофазном\u0000режиме. Проводилось компьютерное моделирование импульсного нагрева аморфных слоев Ge и его\u0000данные сопоставлялись с экспериментом. С использованием широкого набора экспериментальных\u0000методов изучались структурные, оптические и электрические свойства облученных слоев Ge:Sb.\u0000Проведенное моделирование позволило оценить глубину, длительность расплава и температуру на\u0000поверхности Ge в процессе ИИО и ИЛО при различных режимах воздействий. Методом ВИМС\u0000установлена значительно более глубокая диффузия Sb в Ge при ИИО (до 1.5 мкм), чем при ИЛО, что\u0000связано с большей глубиной расплава. Определены режимы импульсного отжига, при которых на\u0000подложке p-Ge формировались эпитаксиальные слои n-Ge:Sb. Из измерений по Холлу, плазменному\u0000отражению и рентгеновской дифракции на вакуумно-осажденных и имплантированных слоях Ge:Sb\u0000получены высокие значения концентрации электронов проводимости вплоть до 5×1020 см-3\u0000.\u0000Измерения фотолюминесценции при 300 К показали возрастание вклада от прямого перехода при\u00000.77 эВ (1610 нм) в слоях Ge:Sb после ИИО. Измерения фотопроводимости на диодной структуре nGe:Sb/p-Ge показали более интенсивный и расширенный до 2 мкм фотоотклик в сравнении с\u0000типовым Ge фотодиодом.","PeriodicalId":118786,"journal":{"name":"Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «ФОТОНИКА-2019»","volume":"1 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0,"publicationDate":"2019-05-24","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"133625779","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}