В последние годы Ge становится одним из ключевых материалов кремниевой фотоники. В частности значительные надежды связываются с применением деформированного (растянутого) Ge для решения проблемы создания на кремнии эффективного источника излучения ближнего ИК диапазона. Физическим обоснованием этих надежд является уменьшение исходно небольшого (134 мэВ при 300К) энергетического зазора между прямой и непрямой запрещенными зонами Ge при его растяжении. Однако уровни деформации, необходимые для существенного уменьшения этого зазора, значительны: зазор становится нулевым при двухосной деформации в 1.5-2 % или одноосной вдоль направления (100) в 4.5-5%. Столь высокие значения деформации труднодостижимы в сплошных Ge пленках. Поэтому в настоящее время активно ведутся работы по созданию локально деформированных Ge микроструктур и исследованию их излучательных свойств. В настоящей работе представлены результаты по формированию одноосно деформированных Ge микроструктур и исследованию их спектров люминесценции. Для создания деформированных Ge микроструктур использовались релаксированные Ge слои, выращенные методом МПЭ на Si(001) или SOI подложках, которые из-за разницы коэффициентов термического расширения Si и Ge характеризовались двуосной деформацией растяжения 0.2÷0.25%. Данная деформация может быть многократно увеличена при формировании метод “концентрации напряжений” [1] микроструктур типа «микромостика». Локальные измерения распределения деформации, выполненные методом микро-КРС, показали возрастание деформации в центре микромостиков более чем на порядок по сравнению с исходной Ge пленкой [2]. Для решения проблемы теплоотвода от свободновисящих микромостиков использовались подложки SOI с тонкими слоями захороненного окисла и кремния над ним (200 и 100 нм, соответственно). Это позволило за счет адгезии реализовать механический контакт между подложкой и микромостиком после его формирования («подвешивания»). Проведенные исследования показали, что реализация такого подхода позволяет в несколько раз увеличить плотность оптической накачки, которая приводит к разрушению микромостиков. Методом микро-ФЛ при комнатной температуре выполнены подробные исследования модификации спектров ФЛ при возбуждении различных частей сформированных Ge микроструктур. Показано значительное возрастание интегральной интенсивности сигнала ФЛ в области микромостиков и его сдвиг в область меньших энергий по сравнению с исходной Ge пленкой, (рис. 1). Данные изменения вызваны уменьшением ширин прямой и непрямой запрещенных зон и энергетического зазора между ними при одноосном растяжении Ge вдоль направления типа (100). Выявлено, что форма сигнала ФЛ от микромостиков в значительной мере определяется интерференционными эффектами, вызванными отражением излучения от внешних границ микроструктуры (рис. 1). Установлена преимущественная поляризация излучения от микромостиков. Обсуждается возможность использования различных микрорезонаторов для увеличения эффективности вывода излучения из лок
{"title":"Светоизлучающие структуры для кремниевой оптоэлектроники на основе локально\u0000растянутых Ge микроструктур","authors":"","doi":"10.34077/rcsp2019-70","DOIUrl":"https://doi.org/10.34077/rcsp2019-70","url":null,"abstract":"В последние годы Ge становится одним из ключевых материалов кремниевой фотоники. В\u0000частности значительные надежды связываются с применением деформированного (растянутого) Ge\u0000для решения проблемы создания на кремнии эффективного источника излучения ближнего ИК\u0000диапазона. Физическим обоснованием этих надежд является уменьшение исходно небольшого (134\u0000мэВ при 300К) энергетического зазора между прямой и непрямой запрещенными зонами Ge при его\u0000растяжении. Однако уровни деформации, необходимые для существенного уменьшения этого зазора,\u0000значительны: зазор становится нулевым при двухосной деформации в 1.5-2 % или одноосной вдоль\u0000направления (100) в 4.5-5%. Столь высокие значения деформации труднодостижимы в сплошных Ge\u0000пленках. Поэтому в настоящее время активно ведутся работы по созданию локально\u0000деформированных Ge микроструктур и исследованию их излучательных свойств. В настоящей работе\u0000представлены результаты по формированию одноосно деформированных Ge микроструктур и\u0000исследованию их спектров люминесценции.\u0000Для создания деформированных Ge микроструктур использовались релаксированные Ge слои,\u0000выращенные методом МПЭ на Si(001) или SOI подложках, которые из-за разницы коэффициентов\u0000термического расширения Si и Ge характеризовались двуосной деформацией растяжения 0.2÷0.25%.\u0000Данная деформация может быть многократно увеличена при формировании метод “концентрации\u0000напряжений” [1] микроструктур типа «микромостика». Локальные измерения распределения\u0000деформации, выполненные методом микро-КРС, показали возрастание деформации в центре\u0000микромостиков более чем на порядок по сравнению с исходной Ge пленкой [2]. Для решения\u0000проблемы теплоотвода от свободновисящих микромостиков использовались подложки SOI с тонкими\u0000слоями захороненного окисла и кремния над ним (200 и 100 нм, соответственно). Это позволило за\u0000счет адгезии реализовать механический контакт между подложкой и микромостиком после его\u0000формирования («подвешивания»). Проведенные исследования показали, что реализация такого\u0000подхода позволяет в несколько раз увеличить плотность оптической накачки, которая приводит к\u0000разрушению микромостиков. Методом микро-ФЛ при комнатной температуре выполнены подробные\u0000исследования модификации спектров ФЛ при возбуждении\u0000различных частей сформированных Ge микроструктур.\u0000Показано значительное возрастание интегральной\u0000интенсивности сигнала ФЛ в области микромостиков и его\u0000сдвиг в область меньших энергий по сравнению с\u0000исходной Ge пленкой, (рис. 1). Данные изменения вызваны\u0000уменьшением ширин прямой и непрямой запрещенных зон\u0000и энергетического зазора между ними при одноосном\u0000растяжении Ge вдоль направления типа (100). Выявлено,\u0000что форма сигнала ФЛ от микромостиков в значительной\u0000мере определяется интерференционными эффектами,\u0000вызванными отражением излучения от внешних границ\u0000микроструктуры (рис. 1). Установлена преимущественная\u0000поляризация излучения от микромостиков. Обсуждается\u0000возможность использования различных микрорезонаторов\u0000для увеличения эффективности вывода излучения из лок","PeriodicalId":118786,"journal":{"name":"Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «ФОТОНИКА-2019»","volume":"64 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0,"publicationDate":"2019-05-24","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"126649456","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}