首页 > 最新文献

Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «ФОТОНИКА-2019»最新文献

英文 中文
Светоизлучающие структуры для кремниевой оптоэлектроники на основе локальнорастянутых Ge микроструктур 硅光电学的发光结构基于局部伸展的通用电气微结构
В последние годы Ge становится одним из ключевых материалов кремниевой фотоники. Вчастности значительные надежды связываются с применением деформированного (растянутого) Geдля решения проблемы создания на кремнии эффективного источника излучения ближнего ИКдиапазона. Физическим обоснованием этих надежд является уменьшение исходно небольшого (134мэВ при 300К) энергетического зазора между прямой и непрямой запрещенными зонами Ge при егорастяжении. Однако уровни деформации, необходимые для существенного уменьшения этого зазора,значительны: зазор становится нулевым при двухосной деформации в 1.5-2 % или одноосной вдольнаправления (100) в 4.5-5%. Столь высокие значения деформации труднодостижимы в сплошных Geпленках. Поэтому в настоящее время активно ведутся работы по созданию локальнодеформированных Ge микроструктур и исследованию их излучательных свойств. В настоящей работепредставлены результаты по формированию одноосно деформированных Ge микроструктур иисследованию их спектров люминесценции.Для создания деформированных Ge микроструктур использовались релаксированные Ge слои,выращенные методом МПЭ на Si(001) или SOI подложках, которые из-за разницы коэффициентовтермического расширения Si и Ge характеризовались двуосной деформацией растяжения 0.2÷0.25%.Данная деформация может быть многократно увеличена при формировании метод “концентрациинапряжений” [1] микроструктур типа «микромостика». Локальные измерения распределениядеформации, выполненные методом микро-КРС, показали возрастание деформации в центремикромостиков более чем на порядок по сравнению с исходной Ge пленкой [2]. Для решенияпроблемы теплоотвода от свободновисящих микромостиков использовались подложки SOI с тонкимислоями захороненного окисла и кремния над ним (200 и 100 нм, соответственно). Это позволило засчет адгезии реализовать механический контакт между подложкой и микромостиком после егоформирования («подвешивания»). Проведенные исследования показали, что реализация такогоподхода позволяет в несколько раз увеличить плотность оптической накачки, которая приводит кразрушению микромостиков. Методом микро-ФЛ при комнатной температуре выполнены подробныеисследования модификации спектров ФЛ при возбужденииразличных частей сформированных Ge микроструктур.Показано значительное возрастание интегральнойинтенсивности сигнала ФЛ в области микромостиков и егосдвиг в область меньших энергий по сравнению сисходной Ge пленкой, (рис. 1). Данные изменения вызваныуменьшением ширин прямой и непрямой запрещенных зони энергетического зазора между ними при одноосномрастяжении Ge вдоль направления типа (100). Выявлено,что форма сигнала ФЛ от микромостиков в значительноймере определяется интерференционными эффектами,вызванными отражением излучения от внешних границмикроструктуры (рис. 1). Установлена преимущественнаяполяризация излучения от микромостиков. Обсуждаетсявозможность использования различных микрорезонаторовдля увеличения эффективности вывода излучения из лок
近年来,通用电气已成为硅光子的关键材料之一。特别引人注目的是,使用变形(延伸)gee来解决硅上有效的近距离辐射源的问题。这些希望的物理原因是,在300k的直接和间接限制的通用电气区域之间的能量差距很小(134mv)。然而,显著减少这种间隙所需的变形水平是显著的:间隙在1.5- 2%的双轴变形(100)到4.5-5%时为零。如此高的变形值在连续的geplanc中是难以实现的。因此,目前正在积极开发本地化的通用电气微结构,并研究其辐射特性。本文介绍了创建单轴畸形的通用微结构并研究其发光光谱的结果。通用电气微结构使用的是在Si(001)或SOI底板上开发的放松的通用电气层,由于Si和通用电气的热膨胀系数的差异,其特点是双链应变。在形成“微桥”型微结构时,这种变形可以被多次放大。微质量分布式局部测量显示,半人马座的变形率高于原始的通用电气胶片(2)。为了解决散热问题,使用了埋在上面的氧化物和硅薄薄的SOI底座(分别为200纳米和100纳米)。这使得附着力能够在支架形成后(“悬浮”)与微桥之间进行机械接触。研究表明,tak方法的实现允许光学泵入密度增加几倍,导致微桥的破坏。在室温下进行的微氟化研究是在通用电气微结构中不同部分的激发下完成的。在微桥和egosdvig中,fl信号的积分强度明显增加,而不是像液态胶片那样的能量更小。1):这些变化是由能量间隙的直接和非直接能量间隙的宽度降低造成的,而通用电气沿着(100)型方向单调暗。报告显示,微桥信号的形式在很大程度上是由外部边界结构反射引起的干扰效应决定的。1)安装了微型桥辐射的最有效的日本人化。讨论使用不同的微共振器来提高从局部畸形的通用电气微结构中释放的辐射效率。
{"title":"Светоизлучающие структуры для кремниевой оптоэлектроники на основе локально\u0000растянутых Ge микроструктур","authors":"","doi":"10.34077/rcsp2019-70","DOIUrl":"https://doi.org/10.34077/rcsp2019-70","url":null,"abstract":"В последние годы Ge становится одним из ключевых материалов кремниевой фотоники. В\u0000частности значительные надежды связываются с применением деформированного (растянутого) Ge\u0000для решения проблемы создания на кремнии эффективного источника излучения ближнего ИК\u0000диапазона. Физическим обоснованием этих надежд является уменьшение исходно небольшого (134\u0000мэВ при 300К) энергетического зазора между прямой и непрямой запрещенными зонами Ge при его\u0000растяжении. Однако уровни деформации, необходимые для существенного уменьшения этого зазора,\u0000значительны: зазор становится нулевым при двухосной деформации в 1.5-2 % или одноосной вдоль\u0000направления (100) в 4.5-5%. Столь высокие значения деформации труднодостижимы в сплошных Ge\u0000пленках. Поэтому в настоящее время активно ведутся работы по созданию локально\u0000деформированных Ge микроструктур и исследованию их излучательных свойств. В настоящей работе\u0000представлены результаты по формированию одноосно деформированных Ge микроструктур и\u0000исследованию их спектров люминесценции.\u0000Для создания деформированных Ge микроструктур использовались релаксированные Ge слои,\u0000выращенные методом МПЭ на Si(001) или SOI подложках, которые из-за разницы коэффициентов\u0000термического расширения Si и Ge характеризовались двуосной деформацией растяжения 0.2÷0.25%.\u0000Данная деформация может быть многократно увеличена при формировании метод “концентрации\u0000напряжений” [1] микроструктур типа «микромостика». Локальные измерения распределения\u0000деформации, выполненные методом микро-КРС, показали возрастание деформации в центре\u0000микромостиков более чем на порядок по сравнению с исходной Ge пленкой [2]. Для решения\u0000проблемы теплоотвода от свободновисящих микромостиков использовались подложки SOI с тонкими\u0000слоями захороненного окисла и кремния над ним (200 и 100 нм, соответственно). Это позволило за\u0000счет адгезии реализовать механический контакт между подложкой и микромостиком после его\u0000формирования («подвешивания»). Проведенные исследования показали, что реализация такого\u0000подхода позволяет в несколько раз увеличить плотность оптической накачки, которая приводит к\u0000разрушению микромостиков. Методом микро-ФЛ при комнатной температуре выполнены подробные\u0000исследования модификации спектров ФЛ при возбуждении\u0000различных частей сформированных Ge микроструктур.\u0000Показано значительное возрастание интегральной\u0000интенсивности сигнала ФЛ в области микромостиков и его\u0000сдвиг в область меньших энергий по сравнению с\u0000исходной Ge пленкой, (рис. 1). Данные изменения вызваны\u0000уменьшением ширин прямой и непрямой запрещенных зон\u0000и энергетического зазора между ними при одноосном\u0000растяжении Ge вдоль направления типа (100). Выявлено,\u0000что форма сигнала ФЛ от микромостиков в значительной\u0000мере определяется интерференционными эффектами,\u0000вызванными отражением излучения от внешних границ\u0000микроструктуры (рис. 1). Установлена преимущественная\u0000поляризация излучения от микромостиков. Обсуждается\u0000возможность использования различных микрорезонаторов\u0000для увеличения эффективности вывода излучения из лок","PeriodicalId":118786,"journal":{"name":"Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «ФОТОНИКА-2019»","volume":"64 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0,"publicationDate":"2019-05-24","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"126649456","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}
引用次数: 0
Туннельный точечный контакт в терагерцовом поле 特拉公爵场隧道点接触
Изготовлены квантовые точечные контакты (QPC) в двумерном электронном газе гетероструктурGaAs/AlGaAs и выполнены измерения отклика туннельного кондактанса устройств на терагерцовоеоблучение [1] (рис.1,2). Поляризационные измерения (рис.2) показывают, что отклик зависит толькоот компоненты внешнего ВЧ поля E(ω), которая направлена вдоль тока в узком месте. Это позволяетсвести объяснение к численному решению одномерной задачи о фотон-ассистированномпрохождении через барьер U(x,t)≈ [V+Aсos(ωt)]/ch2(x/W). Для такого барьера давно предсказаны дваэффекта. Первый из них – гигантский рост коэффициента прохождения D частицы с начальнойэнергией E
量子点接触(QPC)是在异质质气体/AlGaAs电子气体中制造的,测量了设备对teragal辐射的反应(1)。偏振测量(里斯2)表明,响应只取决于外部磁场E()字段()的组成部分,该字段沿着电流流向狭小的地方。这将解释简化为一个数值解,即通过U(x,t) eos (V+ aos) /ch2(x/W)。长期以来,人们一直预测这种障碍会产生双重影响。第一个是D粒子以低而适度的频率E
{"title":"Туннельный точечный контакт в терагерцовом поле","authors":"","doi":"10.34077/rcsp2019-134","DOIUrl":"https://doi.org/10.34077/rcsp2019-134","url":null,"abstract":"Изготовлены квантовые точечные контакты (QPC) в двумерном электронном газе гетероструктур\u0000GaAs/AlGaAs и выполнены измерения отклика туннельного кондактанса устройств на терагерцовое\u0000облучение [1] (рис.1,2). Поляризационные измерения (рис.2) показывают, что отклик зависит только\u0000от компоненты внешнего ВЧ поля E(ω), которая направлена вдоль тока в узком месте. Это позволяет\u0000свести объяснение к численному решению одномерной задачи о фотон-ассистированном\u0000прохождении через барьер U(x,t)≈ [V+Aсos(ωt)]/ch2\u0000(x/W). Для такого барьера давно предсказаны два\u0000эффекта. Первый из них – гигантский рост коэффициента прохождения D частицы с начальной\u0000энергией E<V при низких и умеренных частотах [2-4] (вплоть до 0.7 ТГц для туннельного контакта с\u0000W≈100 нм в двумерном электронном газе GaAs/AlGaAs структур [4]). Второй эффект – это выход при\u0000высоких частотах на значение D0(E), отвечающее статическому барьеру [2,3]. В работе [1] впервые\u0000наблюдались оба эффекта, а результаты моделирования мультифотонного прохождения электрона\u0000через туннельный барьер в изготовленных структурах хорошо соответствуют измерениям на частотах\u0000f от 0.14 до 1.63 ТГц.","PeriodicalId":118786,"journal":{"name":"Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «ФОТОНИКА-2019»","volume":"4 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0,"publicationDate":"2019-05-24","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"114534057","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}
引用次数: 0
Фоторезисторы из CdxHg1-xTe с радиальным смещениеми эффектом эксклюзии носителей заряда cdxh1 -xTe光敏电阻器具有电荷载流子径向偏移效应
Расположение одного контакта в центре пиксела, а второго – по его периметру позволяетосуществить радиальное смещение. Принципиальная схема такого исполнения контактной системыФЧЭ приведена на рис.1. Для изготовления ФЧЭ использовались гетероэпитаксиальные структуры,полученные в Институте физики полупроводников Сибирского отделения РАН молекулярно-лучевойэпитаксией (ГЭСКРТМЛЭ): х=0,210-0,215, n=(3,9–4,1)×1014,µn, = (0,86–0,92)×105см2/Вс и временемфотоответаτоб=(1,3 – 2,2)мкс при 77К. Зависимости удельной обнаружительной способности D*(λmax,1200,1) и вольтовойчувствительности Su (λmax) от напряжения смещения для ФЧЭ с радиальным смещением приплоском угле зрения 42° и 14° приведены на рис.2. Максимальные величины D*(λmax,1200,1)получены при напряжениях, соответствующих началу пролета носителей заряда: 5,4×1010,1,35×1011смГц1/2/Вт при плоском угле зрения 42°и 14°, соответственно. При напряжении смещения,соответствующем величине вольтовой чувствительности 1,5×105 В/Вт и плоском угле зрения 14°(Uсм=0,01 В), выделяемая мощность составила не более 0,5 мкВт на один элемент, а D*(λmax,1200,1) –не менее 1,2×1011 смГц1/2/Вт.В ФЧЭ с радиальным смещением, как и для ФЧЭ в классическом исполнении [1], наблюдаетсяэксклюзия неосновных носителей заряда, генерируемых фоновым излучением.
一个接触点位于像素中心,另一个接触点位于像素周长上,允许放射性位移。这种接触式系统执行的原理图在里斯1号。西伯利亚半导体半导体研究所采用的异形体结构(x): x = 210- 0.210 - 0.215、n(3.9 - 4.1)、n(0.86 - 0.92)、105m2和时间光电反应(1.3 - 2.2)。依赖性比探测能力D *(λmax 1200.1)和вольтовойчувствительнSu(λmax)和径向位移приплоск角度偏移电压为ФЧЭрис.2 42°以下14°。最大变量D *(λmax 1200.1)得到紧张,适当载流子飞过初:5.4×1010,1,35×1011смГц1/2 / w平面角度分别为42°14°。偏移电压时,相应的伏敏感值1.5×105 / w平面角度和14°(Uсм= 0.01)分泌的产能为不超过0.5мкВт一个元素,而D *(λmax 1200.1),不小于1.2×1011смГц1/2 / w。在径向偏移下,就像在经典的(1)中,观察到背景辐射产生的非基本电荷载体的暴露。
{"title":"Фоторезисторы из CdxHg1-xTe с радиальным смещением\u0000и эффектом эксклюзии носителей заряда","authors":"","doi":"10.34077/rcsp2019-56","DOIUrl":"https://doi.org/10.34077/rcsp2019-56","url":null,"abstract":"Расположение одного контакта в центре пиксела, а второго – по его периметру позволяет\u0000осуществить радиальное смещение. Принципиальная схема такого исполнения контактной системы\u0000ФЧЭ приведена на рис.1. Для изготовления ФЧЭ использовались гетероэпитаксиальные структуры,\u0000полученные в Институте физики полупроводников Сибирского отделения РАН молекулярно-лучевой\u0000эпитаксией (ГЭСКРТМЛЭ): х=0,210-0,215, n=(3,9–4,1)×1014\u0000,µn, = (0,86–0,92)×105\u0000см2\u0000/Вс и временем\u0000фотоответаτоб=(1,3 – 2,2)мкс при 77К. \u0000Зависимости удельной обнаружительной способности D*(λmax,1200,1) и вольтовой\u0000чувствительности Su (λmax) от напряжения смещения для ФЧЭ с радиальным смещением при\u0000плоском угле зрения 42° и 14° приведены на рис.2. Максимальные величины D*(λmax,1200,1)\u0000получены при напряжениях, соответствующих началу пролета носителей заряда: 5,4×1010\u0000,\u00001,35×1011смГц1/2/Вт при плоском угле зрения 42°и 14°, соответственно. При напряжении смещения,\u0000соответствующем величине вольтовой чувствительности 1,5×105 В/Вт и плоском угле зрения 14°\u0000(Uсм=0,01 В), выделяемая мощность составила не более 0,5 мкВт на один элемент, а D*(λmax,1200,1) –\u0000не менее 1,2×1011 смГц1/2/Вт.\u0000В ФЧЭ с радиальным смещением, как и для ФЧЭ в классическом исполнении [1], наблюдается\u0000эксклюзия неосновных носителей заряда, генерируемых фоновым излучением.","PeriodicalId":118786,"journal":{"name":"Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «ФОТОНИКА-2019»","volume":"39 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0,"publicationDate":"2019-05-24","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"114793739","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}
引用次数: 0
Светоизлучающие InAs/GaP гетероструктуры, выращенные на Si подложках 发光InAs/GaP异质结构,生长在Si底座上
Использование светоизлучающих приборов на основе A3B5 гетероструктур (ГС), выращенных наSi подложках, открывает перспективу значительного ускорения обработки информации как в рамкаходного процессора, так и для многоядерных систем. Перспективным с точки зрения интеграции вкремниевую технологию материалом A3B5 является GaP, практически согласованный с Si попараметру решётки. Формирование ГС из узкозонного InAs в широкозонной матрице GaP даётпреимущества сильной локализации носителей заряда, которая обеспечивает возможностьварьирования рабочей длины волны излучения в широких пределах за счёт эффектов размерногоквантования. Представляемая в докладе работа, посвящена получению InAs/GaP гетероструктур сквантовыми точками (КТ) с высокой эффективностью излучательной рекомбинации, выращенных наSi подложках.Эпитаксиальные слои GaP/Si выращивались методом молекулярно-лучевой эпитаксии. Ростначинался с формирования переходной области посредством осаждения на кремниевую подложкуслоя GaP, толщиной 6 монослоёв (МС) при температуре подложки (Ts) 300°C в режиме атомнослоевой эпитаксии. После чего Ts повышалась до 380°C, в слабом потоке фосфора (отношение V/III <1) высаживался слой атомов Ga толщиной 4 МС, а затем поверхность выдерживалась в потокефосфора в течении 20 сек. Процедура циклического роста повторялась 50 раз, до тех пор пока общаятолщина пленки не достигала 55 нм. Затем температура повышалась до 500°C, и в таком же режимециклического роста формировался слой GaP толщиной 150 нм. При той же фиксированнойтемпературе 500°C при одновременном осаждении материалов III и V групп с отношением потоковV/III > 2 и скоростью роста 1 МС/с выращивались все последующие слои структуры: (1) Слой GaPтолщиной 300 нм, (2) слой квантовых точек, который формировались при осаждении InAs сноминальной толщиной 2 МС и заращивался (3) слоем GaP толщиной 50 нм. Для сравнения в тех жеусловиях была выращена гетероструктура GaP/Si не содержащая InAs вставки.Спектры низкотемпературной (5К) фотолюминесценции (ФЛ) гетероструктур GaP/Si иInAs/GaP/Si, измеренные при нерезонансном возбуждении, представлены на рисунке. В спектреструктуры GaP/Si (кривая 1, на рисунке) наблюдается группа полос смаксимумами в диапазоне энергий 2.1÷2.3 эВ, обусловленныедонорно-акцепторной рекомбинацией в слое GaP [1]. В тоже время,в спектре структуры InAs/GaP/Si (кривая 2), доминирует полоса QD,с максимумом на энергии 2.17 эВ и шириной на половиннойинтенсивности 110 мэВ, которую мы связываем с рекомбинациейносителей заряда в InAs квантовых точках. Сдвиг положениямаксимумов полос донорно-акцепторной рекомбинации и полосыQD в спектрах ФЛ, измеренных в различных точках поверхностигетероструктур показан на вставке к рисунку. Видно, что структураGaP/Si пространственно однородна, в то время как положениеполосы QD монотонно смещается на 20 мэВ при смещении точкиизмерения спектра ФЛ вдоль поверхности структуры InAs/GaP/Si. Спектральное смещение полосыQD обусловлено неоднородностью п
使用基于nasi支架的A3B5异质结构(s)的光辐射设备,为框架处理器和多核系统提供了大量信息处理的前景。在融合硅技术方面,A3B5材料的前景是GaP,几乎与Si paraprametro晶格一致。在GaP的宽带矩阵中,从细胞系InAs形成的g具有强大的电荷载体本地化的优势,这使得通过量子化效应,可以在广泛范围内改变辐射波长。报告中介绍的工作是获取InAs/GaP skvant点的异质结构(kt),其辐射重组效率很高,由nasi衬垫培育。外延层GaP/Si是通过分子束外延法生长的。和过渡区通过沉积形成硅подложкуслоростначинаGaP、厚度6монослоёв(mc)衬底(Ts) 300°C的温度在атомнослоев外延模式。此后Ts提高到380°C,弱关系磷(V / III 2流动和增长速度0.1 ms / s种植所有后续层结构:(1)层层gapтолщин300 nm(2)中塑造的量子点被围困的InAsсноминальн厚度2毫秒和заращива(3)GaP 50 nm厚层。相比之下,GaP/Si的异质结构没有包含InAs插入。低温(5k)光照发光谱(5k)由未解刺激测量的GaP/Si inas /GaP/Si异质结构表示。在GaP/Si光谱结构(图1)中,有一组能量最大值在2.1 - 2.3 ev范围内,因为GaP层中的供体受体重组。与此同时,在InAs/GaP/Si(曲线2)光谱中,QD频谱占主导位置,最大能量为2.17 ev,宽度为110兆赫,我们与InAs量子点中的电荷重组器结合。供体受体重新组合带和条纹在不同的fl光谱上的变化,在图的插图中显示了表面结构的不同点。你可以看到QD条带在空间上是均匀的,而QD条带单调移动20 mav,沿着InAs/GaP/Si结构的表面移动。条纹的光谱偏移是由于原子在InAs层厚度梯度上的不均匀,而InAs/GaP/Si的异质结构就是从那里形成量子点的。由于量子点电荷载体的辐射重组效率提高,QD带的积分强度几乎比GaP/Si的异质结构的积分强度高出2次方。
{"title":"Светоизлучающие InAs/GaP гетероструктуры, выращенные на Si подложках","authors":"","doi":"10.34077/rcsp2019-81","DOIUrl":"https://doi.org/10.34077/rcsp2019-81","url":null,"abstract":"Использование светоизлучающих приборов на основе A3B5 гетероструктур (ГС), выращенных на\u0000Si подложках, открывает перспективу значительного ускорения обработки информации как в рамках\u0000одного процессора, так и для многоядерных систем. Перспективным с точки зрения интеграции в\u0000кремниевую технологию материалом A3B5 является GaP, практически согласованный с Si по\u0000параметру решётки. Формирование ГС из узкозонного InAs в широкозонной матрице GaP даёт\u0000преимущества сильной локализации носителей заряда, которая обеспечивает возможность\u0000варьирования рабочей длины волны излучения в широких пределах за счёт эффектов размерного\u0000квантования. Представляемая в докладе работа, посвящена получению InAs/GaP гетероструктур с\u0000квантовыми точками (КТ) с высокой эффективностью излучательной рекомбинации, выращенных на\u0000Si подложках.\u0000Эпитаксиальные слои GaP/Si выращивались методом молекулярно-лучевой эпитаксии. Рост\u0000начинался с формирования переходной области посредством осаждения на кремниевую подложку\u0000слоя GaP, толщиной 6 монослоёв (МС) при температуре подложки (Ts) 300°C в режиме атомнослоевой эпитаксии. После чего Ts повышалась до 380°C, в слабом потоке фосфора (отношение V/III <\u00001) высаживался слой атомов Ga толщиной 4 МС, а затем поверхность выдерживалась в потоке\u0000фосфора в течении 20 сек. Процедура циклического роста повторялась 50 раз, до тех пор пока общая\u0000толщина пленки не достигала 55 нм. Затем температура повышалась до 500°C, и в таком же режиме\u0000циклического роста формировался слой GaP толщиной 150 нм. При той же фиксированной\u0000температуре 500°C при одновременном осаждении материалов III и V групп с отношением потоков\u0000V/III > 2 и скоростью роста 1 МС/с выращивались все последующие слои структуры: (1) Слой GaP\u0000толщиной 300 нм, (2) слой квантовых точек, который формировались при осаждении InAs с\u0000номинальной толщиной 2 МС и заращивался (3) слоем GaP толщиной 50 нм. Для сравнения в тех же\u0000условиях была выращена гетероструктура GaP/Si не содержащая InAs вставки.\u0000Спектры низкотемпературной (5К) фотолюминесценции (ФЛ) гетероструктур GaP/Si и\u0000InAs/GaP/Si, измеренные при нерезонансном возбуждении, представлены на рисунке. В спектре\u0000структуры GaP/Si (кривая 1, на рисунке) наблюдается группа полос с\u0000максимумами в диапазоне энергий 2.1÷2.3 эВ, обусловленные\u0000донорно-акцепторной рекомбинацией в слое GaP [1]. В тоже время,\u0000в спектре структуры InAs/GaP/Si (кривая 2), доминирует полоса QD,\u0000с максимумом на энергии 2.17 эВ и шириной на половинной\u0000интенсивности 110 мэВ, которую мы связываем с рекомбинацией\u0000носителей заряда в InAs квантовых точках. Сдвиг положения\u0000максимумов полос донорно-акцепторной рекомбинации и полосы\u0000QD в спектрах ФЛ, измеренных в различных точках поверхности\u0000гетероструктур показан на вставке к рисунку. Видно, что структура\u0000GaP/Si пространственно однородна, в то время как положение\u0000полосы QD монотонно смещается на 20 мэВ при смещении точки\u0000измерения спектра ФЛ вдоль поверхности структуры InAs/GaP/Si. Спектральное смещение полосы\u0000QD обусловлено неоднородностью п","PeriodicalId":118786,"journal":{"name":"Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «ФОТОНИКА-2019»","volume":"48 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0,"publicationDate":"2019-05-24","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"124321862","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}
引用次数: 0
Фотолюминесценция SiSnGe гетероструктур 异质光发光
Интерес к твёрдым растворам SiGeSn связан с тем, что управляя составом можно управлять ихзонной структурой, и есть предположения, что в таких твёрдых растворах можно достичьпрямозонной структуры и получить эффективные излучатели инфракрасного (ИК) диапазона [1].Гетероструктуры Si/Si(1-x)Snx и твёрдые растворы SiGeSn были выращены на подложке Si (001) вусловиях сверхвысокого вакуума 10-7-10-8 Па на установке молекулярно-лучевой эпитаксии “КатуньC”. Сначала осуществлялся рост буферного слоя кремния толщиной 150 нм при температуре 700°С,затем происходил рост гетероструктур. Состав слоёв и толщины слоёв в гетероструктурахварьировались, содержание олова в твёрдых растворах SiSn варьировалось от 10% (образец 1) до 25%(образец 2, см. рисунок).Многослойные гетероструктуры Si/Si(1-x)Snx а такжетвёрдые растворы SiSnGe были исследованы сприменением спектроскопии комбинационногорассеяния света и фотолюминесценции. В спектрахкомбинационного рассеяния света гетероструктурSi/Si(1-x)Snx обнаружены пики, соответствующиеколебаниям связей Si-Sn, а также Sn-Sn, последнеепозволяет предположить, что в гетероструктурахприсутствуют нанокристаллы олова. В спектрахтвёрдых растворов SiGeSn были обнаружены пики,соответствующие колебаниям связей Sn-Sn, Si-Sn, Ge-Si,и Ge-Sn.Спектры фотолюминесценции измеряли сиспользованием мультиканального детектора на основематрицы InGaAs-диодов. Длинноволновый край порогачувствительности составлял 2100 нм, корректировкиспектров на чувствительность детектора непроводилось. При низких температурах вгетероструктурах Si/Si(1-x)Snx наблюдались две полосыфотолюминесценции – 0.75 эВ (1650 нм) и 0.65 эВ (1900нм), первую можно связать с оптическими переходами вквантовых ямах в гетероструктуре второго рода Si/Si(1-x)Snx, а вторую с экситонами, локализованными внанокристаллах олова (см. рисунок). В твёрдых растворах SiGeSn также была обнаруженафотолюминесценция в ИК диапазоне при низких температурах.
人们对SiGeSn固态溶液的兴趣在于,在固体溶液中,可以控制它们的结构,有人认为,在这种固态溶液中,可以达到直通区结构,产生有效的红外辐射(红外)波段(1)。Snx (1-x)Snx的异质结构和SiGeSn的固态溶液是在10-7-10- 10-8 pa的超真空底座上生长的。先是增长缓冲层硅150 nm厚同时实施700°c温度然后发生增长异质结构。锡在sn固体溶液中的含量从10%(样品1)到25%(样品2,见图)不等。Si/Si(1-x)Snx的多层异质结构(1-x)Snx。Snx在异质Si/Si(1-x)光的光谱散射中发现了与Si-Sn和Sn通信波动相对应的峰值,后者表明锡纳米晶体存在于异质结构中。SiGeSn的固态光谱显示了与Sn-Sn、Si-Sn、Ge-Si和Ge-Sn通信波动相对应的峰值。光电发光光谱是由多通道探测器在InGaAs二极管基质上的位置测量的。长波阈值为2100纳米,没有对探测器灵敏度进行校正。在Si/Si(1-x)异质结构的低温下,Snx有两道光照(1650 nm)和0.65 nm (1900nm),第一个可以与第二类Si/Si(1-x)Snx异质结构中的量子坑光学跃迁相关联,第二个可以与微量锡(见图)中的轴突结合。在SiGeSn的固体溶液中,在低温下还发现了红外光谱中的光照发光。
{"title":"Фотолюминесценция SiSnGe гетероструктур","authors":"","doi":"10.34077/rcsp2019-75","DOIUrl":"https://doi.org/10.34077/rcsp2019-75","url":null,"abstract":"Интерес к твёрдым растворам SiGeSn связан с тем, что управляя составом можно управлять их\u0000зонной структурой, и есть предположения, что в таких твёрдых растворах можно достичь\u0000прямозонной структуры и получить эффективные излучатели инфракрасного (ИК) диапазона [1].\u0000Гетероструктуры Si/Si(1-x)Snx и твёрдые растворы SiGeSn были выращены на подложке Si (001) в\u0000условиях сверхвысокого вакуума 10-7\u0000-10-8 Па на установке молекулярно-лучевой эпитаксии “Катунь\u0000C”. Сначала осуществлялся рост буферного слоя кремния толщиной 150 нм при температуре 700°С,\u0000затем происходил рост гетероструктур. Состав слоёв и толщины слоёв в гетероструктурах\u0000варьировались, содержание олова в твёрдых растворах SiSn варьировалось от 10% (образец 1) до 25%\u0000(образец 2, см. рисунок).\u0000Многослойные гетероструктуры Si/Si(1-x)Snx а также\u0000твёрдые растворы SiSnGe были исследованы с\u0000применением спектроскопии комбинационного\u0000рассеяния света и фотолюминесценции. В спектрах\u0000комбинационного рассеяния света гетероструктур\u0000Si/Si(1-x)Snx обнаружены пики, соответствующие\u0000колебаниям связей Si-Sn, а также Sn-Sn, последнее\u0000позволяет предположить, что в гетероструктурах\u0000присутствуют нанокристаллы олова. В спектрах\u0000твёрдых растворов SiGeSn были обнаружены пики,\u0000соответствующие колебаниям связей Sn-Sn, Si-Sn, Ge-Si,\u0000и Ge-Sn.\u0000Спектры фотолюминесценции измеряли с\u0000использованием мультиканального детектора на основе\u0000матрицы InGaAs-диодов. Длинноволновый край порога\u0000чувствительности составлял 2100 нм, корректировки\u0000спектров на чувствительность детектора не\u0000проводилось. При низких температурах в\u0000гетероструктурах Si/Si(1-x)Snx наблюдались две полосы\u0000фотолюминесценции – 0.75 эВ (1650 нм) и 0.65 эВ (1900\u0000нм), первую можно связать с оптическими переходами в\u0000квантовых ямах в гетероструктуре второго рода Si/Si(1-\u0000x)Snx, а вторую с экситонами, локализованными в\u0000нанокристаллах олова (см. рисунок). В твёрдых растворах SiGeSn также была обнаружена\u0000фотолюминесценция в ИК диапазоне при низких температурах.","PeriodicalId":118786,"journal":{"name":"Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «ФОТОНИКА-2019»","volume":"152 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0,"publicationDate":"2019-05-24","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"122663728","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}
引用次数: 0
Структуры с квантовыми ямами HgTe/CdHgTe для ИК фотоприемников: рост ихарактеризация 光电接收器的量子坑/CdHgTe /CdHgTe结构:生长和个性
Проведено выращивание структур с множественными квантовыми ям (КЯ) HgTe методоммолекулярно-лучевой эпитаксии с in situ эллипсометрическим контролем. Представлены спектрыпоглощения и фотопроводимости, характеристики структур с множественными HgTe КЯ. Измереныспектры поглощения и фотопроводимости. На основе структур с множественными квантовымиямами HgTe по заводской технологии были изготовлены ИК фоторезисторы (50×50 мкм) и измереныих характеристики.Рост структур производился на модернезированой установке МЛЭ “Обь-М”. Количество HgTe КЯизменялось от 5 до 200, толщина слоев HgTe варьировалась от 3 до 18 нм. Состав барьеровXCdTe≥0,60,75, толщина барьеров HgCdTe составляла 30 нм. Разработан эллипсометрический методпрецизионного восстановления состава в множественных HgTe КЯ, основанный на замене слояпеременного состава на «эффективную» подложку постоянного состава с эффективнымиоптическими постоянными. Данный метод позволяет с высокой точностью восстановитьраспределение состава по толщине впоследовательно выращенных HgTe КЯ На рис.1апредставлены типичные профили распределениясостава в структуре с 50 HgTe КЯ. Видно, что ввыращенных КЯ наблюдается воспроизводимоеизменение распределение состава. Среднийстатистический разброс для фиксированнойкоординаты составил XCdTe 0,02 молярныхдолей.По заводской технологии АО “МЗ “Сапфир”методом струйного аэрозольного травления наоснове МСКЯ HgTe/HgCdTe были изготовлены ИКфоторезисторы, размером 50×50 мкм безпросветляющего покрытия, и измерены иххарактеристики. Контакты создавалисьэлектрохимическим осаждением индия. На рис.1бпоказана зависимость вольтовой чувствительность(Su) и обнаружительной способности (D*) отнапряжения смещения. Наблюдается увеличениеSu с выходом на полку при напряжении смещения≥0,25В, а D* проходит через максимум при0,150,2В. Проведено исследование параметровфоторезисторов при различных фоновых потоках.Значение вольтватной чувствительности составило5,8×105 В/Вт для ИК фоторезисторов с длинноволновой границей max=11,6 мкм, изготовленных наоснове структур с множественными HgTe КЯ (толщина HgTe КЯ =8,6 нм, 50 слоев HgTe ).
在situ椭圆控制下,引入了多量子坑(k) HgTe方法束外延结构。= =特征= =光谱吸收和光导,具有多个HgTe kya结构的特征。吸收光谱和光导的测量。基于HgTe多量子量子结构,制造了红外光敏电阻(50 50 mkm),并测量了它们的特征。结构的增长是在现代的低技术基础上进行的。HgTe的数量从5到200不等,HgTe的厚度从3到18纳米不等。阵容барьеровXCdTe≥0.60.75%,厚度屏障HgCdTe为30 nm。在多个HgTe中开发了一种椭圆精密复原方法,基于将层变量替换为有效的常数基数的“有效”基数,并且具有有效的光学常数。这种方法允许高精度地恢复HgTe按次序种植的大米的厚度分布。1a1a是50 HgTe kya结构中典型的成分分布剖面。你可以看到k的生长正在经历成分分布的复制变化。为фиксированнойкоординат为和国定среднийстатистическXCdTeмолярныхдол0.02%。蓝宝石mz是一种基于HgTe/HgCdTe喷雾器的喷雾器,用于测量它们的特征。接触是由印度的电化学围攻造成的。大米。1bb显示了电压敏感性(Su)和探测能力(D)位移应力的关系。观察увеличениеSu束之高阁时输出电压偏移最多≥0,25ВD *经历при0,150,2В。对不同背景流的光敏电阻参数进行了研究。вольтватн敏感составило5,8×105 / w值对于边界和长波红外光敏电阻max = 11.6µm,制造技术和多重HgTe结构厚度КЯ(HgTeКЯ= 8.6 nm, 50层HgTe)。
{"title":"Структуры с квантовыми ямами HgTe/CdHgTe для ИК фотоприемников: рост и\u0000характеризация","authors":"","doi":"10.34077/rcsp2019-95","DOIUrl":"https://doi.org/10.34077/rcsp2019-95","url":null,"abstract":"Проведено выращивание структур с множественными квантовыми ям (КЯ) HgTe методом\u0000молекулярно-лучевой эпитаксии с in situ эллипсометрическим контролем. Представлены спектры\u0000поглощения и фотопроводимости, характеристики структур с множественными HgTe КЯ. Измерены\u0000спектры поглощения и фотопроводимости. На основе структур с множественными квантовыми\u0000ямами HgTe по заводской технологии были изготовлены ИК фоторезисторы (50×50 мкм) и измерены\u0000их характеристики.\u0000Рост структур производился на модернезированой установке МЛЭ “Обь-М”. Количество HgTe КЯ\u0000изменялось от 5 до 200, толщина слоев HgTe варьировалась от 3 до 18 нм. Состав барьеров\u0000XCdTe≥0,60,75, толщина барьеров HgCdTe составляла 30 нм. Разработан эллипсометрический метод\u0000прецизионного восстановления состава в множественных HgTe КЯ, основанный на замене слоя\u0000переменного состава на «эффективную» подложку постоянного состава с эффективными\u0000оптическими постоянными. Данный метод позволяет с высокой точностью восстановить\u0000распределение состава по толщине в\u0000последовательно выращенных HgTe КЯ На рис.1а\u0000представлены типичные профили распределения\u0000состава в структуре с 50 HgTe КЯ. Видно, что в\u0000выращенных КЯ наблюдается воспроизводимое\u0000изменение распределение состава. Средний\u0000статистический разброс для фиксированной\u0000координаты составил XCdTe 0,02 молярных\u0000долей.\u0000По заводской технологии АО “МЗ “Сапфир”\u0000методом струйного аэрозольного травления на\u0000основе МСКЯ HgTe/HgCdTe были изготовлены ИК\u0000фоторезисторы, размером 50×50 мкм без\u0000просветляющего покрытия, и измерены их\u0000характеристики. Контакты создавались\u0000электрохимическим осаждением индия. На рис.1б\u0000показана зависимость вольтовой чувствительность\u0000(Su) и обнаружительной способности (D*) от\u0000напряжения смещения. Наблюдается увеличение\u0000Su с выходом на полку при напряжении смещения\u0000≥0,25В, а D* проходит через максимум при\u00000,150,2В. Проведено исследование параметров\u0000фоторезисторов при различных фоновых потоках.\u0000Значение вольтватной чувствительности составило\u00005,8×105 В/Вт для ИК фоторезисторов с длинноволновой границей max=11,6 мкм, изготовленных на\u0000основе структур с множественными HgTe КЯ (толщина HgTe КЯ =8,6 нм, 50 слоев HgTe ).","PeriodicalId":118786,"journal":{"name":"Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «ФОТОНИКА-2019»","volume":"126 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0,"publicationDate":"2019-05-24","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"123345212","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}
引用次数: 0
Пассивация поверхности InAlAs анодными слоями, сформированнымив таунсендовской газоразрядной плазме 由汤森德气体放电等离子体形成的阳极表面被动
Хорошо известно, что границы раздела диэлектрик/полупроводник играют важную роль присоздании приборных структур на основе полупроводников А3В5. Тройное соединения InAlAsявляется перспективным материалом для создания транзисторов с высокой подвижностьюэлектронов и СВЧ-фотодетекторов [1, 2]. Достижение предельных параметров приборов на основеInAlAs, как и для других полупроводников А3В5, обеспечивается, в том числе, решением актуальнойзадачи формирования границы раздела диэлектрик/InAlAs(А3В5) с низкой плотностью электронныхсостояний (density of interface traps, Dit), которая, в отличие от границы раздела SiO2/Si (Dit=1010 эВ1см-2), далека от совершенства. В представленных к настоящему времени работах, посвященныхформированию границы раздела диэлектрик/InAlAs [3, 4], используют high-k диэлектрики: Al2O3 иHfO2, выращенные методом атомно-слоевого осаждения (АСО). Показано, что тип АСО диэлектрика(Al2O3, HfO2), его толщина и предварительная химическая обработка (пассивация) поверхностиInAlAs не оказывают существенного влияния на величину Dit, которая во всех случаях составляетвеличину более 5·1012 эВ-1см-2.Одним из методов пассивации, который позволил резко (до значений ~5·1010эВ-1см-2(77 K))снизить Dit на границе раздела диэлектрик/InAs, является формирование на поверхностиполупроводника фторсодержащих анодных оксидных слоев (АОС) методами электролитического [5]или плазмохимического окисления [6]. Метод сухого анодного окисления в таунсендовскойгазоразрядной плазме (ТГП) [6] за счет использования одинакового состава газовой среды дляразличных полупроводников является более универсальным и простым по сравнению сэлектролитическим окислением, в связи с чем, позволяет эффективно пассировать боковые стенкимеза-структур, сформированных на многослойных полупроводниковых гетероэпитаксиальныхструктурах А3В5 сложного состава. Близость составов InAs и In0.52Al0.48As позволяет предположить,что данная методика пассивации будет эффективна и для InAlAs.Целью данной работы было изучение электрофизических и физико-химических свойств границраздела АОС/InAlAs, сформированных в таунсендовской газоразрядной плазме (ТГП) в среде Ar-O2 сразличным содержанием CF4.Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии при послойном травлении ионами Arизучен химический состав АОС для различных соотношений O2/CF4. Показано, что АОС без фтора, восновном, состоит из смеси As2O3, In2O3 и Al2O3. Введение CF4 в состав окислительной средыприводит к накоплению фтора в анодной пленке и образованию оксифторидов элементовполупроводника. Методом электронной микроскопии высокого разрешения показано, что приокислении без CF4 формируется резкая граница раздела АОС/InAlAs. Добавление CF4 приводит ксущественному увеличению шероховатости границы раздела. Анализ ВФХ Au/SiO2/InAlAs МДПструктур показал, что модификация поверхности InAlAs окислением в ТГП без CF4 передосаждением SiO2 обеспечивает существенное уменьшение Dit вблизи середины запрещенной зоны.Введ
众所周知,电介质/半导体界面在a3v5半导体基础上引入仪表结构起着重要作用。三种化合物inalasass是一种很有前途的材料,可以制造高能动性电子晶体管和微波光电探测器(1、2)。与其他a3v5半导体一样,实现基于a3v5的仪器的极限参数,包括解决电子介质/InAlAs(a3v5)边界的实际问题,与SiO2/Si (Dit=1010 eu1cm -2)的边界,远不完美。目前提交的关于电介质/InAlAs(3、4)界面的论文使用高k介质:原子层围攻(aso)培育的Al2O3和hfo2。显示电介质类型(Al2O3、HfO2)、其厚度和预化学处理(被动)对Dit值没有重大影响,在所有情况下,Dit值都超过5·1012 ev - 1cm -2。一种使Dit在介质/InAs分界点边缘急剧下降的被动方法是电解(5)或等离子化学氧化(6)的电解方法。汤森德气体放电等离子体(tgp)(6)的干燥阳极氧化方法(tgp)是一种更为普遍和简单的气体介质氧化,因此可以有效地利用由a3b5复杂化合物组成的多层半导体异质结构。InAs和In0.52Al0.48As的接近表明,这种被动技术对InAlAs也有效。这项工作的目的是研究在汤森德气体放电等离子体(tgp)中形成的aos /InAlAs边界的电子和物理化学特性。= =化学成分= = x射线光电光谱学是aos的化学成分,用于不同的O2/CF4比例。没有氟的aos由As2O3、In2O3和Al2O3混合而成。在氧化环境中引入CF4会导致阳极膜中的氟积累,并产生半导体中的氧氟元素。高分辨率电子显微镜显示,没有CF4的氧化就会形成环保署/InAlAs分界线。添加CF4会增加分区边界的粗糙度。对InAlAs /InAlAs mdp结构的分析表明,在没有CF4的情况下,InAlAs表面氧化,SiO2过量,大大减少了禁区中心区附近的Dit。相反,在SiO2/InAlAs界面边缘引入含氟阳极层会使费米级别低于禁区中段。
{"title":"Пассивация поверхности InAlAs анодными слоями, сформированными\u0000в таунсендовской газоразрядной плазме","authors":"","doi":"10.34077/rcsp2019-124","DOIUrl":"https://doi.org/10.34077/rcsp2019-124","url":null,"abstract":"Хорошо известно, что границы раздела диэлектрик/полупроводник играют важную роль при\u0000создании приборных структур на основе полупроводников А3В5. Тройное соединения InAlAs\u0000является перспективным материалом для создания транзисторов с высокой подвижностью\u0000электронов и СВЧ-фотодетекторов [1, 2]. Достижение предельных параметров приборов на основе\u0000InAlAs, как и для других полупроводников А3В5, обеспечивается, в том числе, решением актуальной\u0000задачи формирования границы раздела диэлектрик/InAlAs(А3В5) с низкой плотностью электронных\u0000состояний (density of interface traps, Dit), которая, в отличие от границы раздела SiO2/Si (Dit=1010 эВ1\u0000см-2\u0000), далека от совершенства. В представленных к настоящему времени работах, посвященных\u0000формированию границы раздела диэлектрик/InAlAs [3, 4], используют high-k диэлектрики: Al2O3 и\u0000HfO2, выращенные методом атомно-слоевого осаждения (АСО). Показано, что тип АСО диэлектрика\u0000(Al2O3, HfO2), его толщина и предварительная химическая обработка (пассивация) поверхности\u0000InAlAs не оказывают существенного влияния на величину Dit, которая во всех случаях составляет\u0000величину более 5·1012 эВ-1\u0000см-2\u0000.\u0000Одним из методов пассивации, который позволил резко (до значений ~5·1010\u0000эВ-1\u0000см-2\u0000(77 K))\u0000снизить Dit на границе раздела диэлектрик/InAs, является формирование на поверхности\u0000полупроводника фторсодержащих анодных оксидных слоев (АОС) методами электролитического [5]\u0000или плазмохимического окисления [6]. Метод сухого анодного окисления в таунсендовской\u0000газоразрядной плазме (ТГП) [6] за счет использования одинакового состава газовой среды для\u0000различных полупроводников является более универсальным и простым по сравнению с\u0000электролитическим окислением, в связи с чем, позволяет эффективно пассировать боковые стенки\u0000меза-структур, сформированных на многослойных полупроводниковых гетероэпитаксиальных\u0000структурах А3В5 сложного состава. Близость составов InAs и In0.52Al0.48As позволяет предположить,\u0000что данная методика пассивации будет эффективна и для InAlAs.\u0000Целью данной работы было изучение электрофизических и физико-химических свойств границ\u0000раздела АОС/InAlAs, сформированных в таунсендовской газоразрядной плазме (ТГП) в среде Ar-O2 с\u0000различным содержанием CF4.\u0000Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии при послойном травлении ионами Ar\u0000изучен химический состав АОС для различных соотношений O2/CF4. Показано, что АОС без фтора, в\u0000основном, состоит из смеси As2O3, In2O3 и Al2O3. Введение CF4 в состав окислительной среды\u0000приводит к накоплению фтора в анодной пленке и образованию оксифторидов элементов\u0000полупроводника. Методом электронной микроскопии высокого разрешения показано, что при\u0000окислении без CF4 формируется резкая граница раздела АОС/InAlAs. Добавление CF4 приводит к\u0000существенному увеличению шероховатости границы раздела. Анализ ВФХ Au/SiO2/InAlAs МДПструктур показал, что модификация поверхности InAlAs окислением в ТГП без CF4 перед\u0000осаждением SiO2 обеспечивает существенное уменьшение Dit вблизи середины запрещенной зоны.\u0000Введ","PeriodicalId":118786,"journal":{"name":"Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «ФОТОНИКА-2019»","volume":"12 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0,"publicationDate":"2019-05-24","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"125332294","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}
引用次数: 0
Генерация терагерцового излучения в нелинейнооптических кристаллах BBO, LBOи KTP под действием интенсивного лазерного излучения 畸变公爵辐射在BBO、lboy KTP非线性光学晶体中产生
А. А. Мамрашев, Юрий Михайлович Андреев, Г. В. Ланский
Нелинейные кристаллы бета-борат бария (β-BaB2O4, BBO), триборат лития (LiB3O5, LBO) ититанил-фосфат калия (KTiOPO4, KTP) широко используются в качестве преобразователей частотылазерного излучения ближнего ИК-диапазона в пределах окон их прозрачности. На длине волны 1064нм их нелинейные коэффициенты принимают относительно невысокие значения: d22 = ±2,3 пм/В(BBO), d32 = ±0,85 пм/В (LBO) d33 = 10,7 пм/В (KTP) [1], однако, благодаря высокой лучевойпрочности, в особенности боратов, и малому поглощению, они до сих пор остаются популярным.Учитывая эффективность кристаллов для преобразования частот в оптическом диапазоне, можнопредположить, что они также применимы и для генерации разнолистной частоты (ГРЧ) втерагерцовый (ТГц) или миллиметровый (мм) диапазоны, поскольку данный процесс опирается на теже нелинейные коэффициенты. Принимая во внимание прогресс в развитии высокоинтенсивныхлазерных установок, мотивацией данного исследования является перспектива создания компактных имощных источников ТГц- и мм-диапазона, основанных на принципах нелинейной кристаллооптики иобладающих высокой спектральной яркостью.В данной работе с помощью импульсного терагерцового спектрометра (ЦКП «Спектроскопия иоптика», ИАиЭ СО РАН [2]) изучены оптические свойства кристаллов BBO, LBO и KTP в диапазоне0,2 – 2 ТГц при комнатной (295 K) и криогенной (77 K) температурах. Определены дисперсионныесвойства показателей преломления и аппроксимированы в виде уравнений Селмейера, по которымрассчитаны кривые фазового синхронизма для ГРЧ лазерного излучения ближнего ИК-диапазона .В результате установлено, что у кристаллов KTP и ВВО условия фазового синхронизма неисчезают с криогенным охлаждением, а коэффициенты поглощения резко падают с сохранениемсущественной анизотропии. Таким образом, ГРЧ в ТГц спектральный диапазон возможен. Картинаизменения свойств кристаллов LBO с охлаждением чрезвычайно сложна, и условия фазовогосинхронизма перестают выполняться при криогенных температурах. Однако, обнаруженнаятемпературная стабильность оси Z и значительное падение оптических потерь для волн споляризацией параллельной осям Х и Y открывают новые перспективы использования данногокристалла для устройств ТГц- и мм-диапазонов. Обсуждаются детали полученных результатов ипотенциальные характеристики преобразователей в ТГц-диапазон.
非线性贝瑞亚晶体(BaB2O4、BBO)、三锂(LiB3O5、LBO)和三锂锂(KTiOPO4、KTP)广泛用作透明窗口内近红外辐射的频率转换器。在1064nm波长上,非线性系数相对较低:d22 = 2.3 pm / b, d32 = 0.85 pm / v (LBO),但由于高辐射强度,特别是硼和小吸收,它们仍然很受欢迎。考虑到晶体在光学范围内变换频率的效率,也可能适用于不同频率的振荡(ht)或毫米(mm)范围,因为这个过程依赖于相同的非线性系数。考虑到高浓度制冷设备的发展,这项研究的动机是基于高光谱亮度的非线性晶体光学的紧凑和强大的thc源和mm范围。在这项工作中,通过脉冲therahector光谱仪(光谱学)、ibo、LBO和KTP在室温(295 K)和低温(77 K)范围内的光学特性进行了研究。测定折射率和近似微分的近似微分方程,计算近红外光谱激光束的相位曲线。结果,KTP晶体和相位同步条件不会随着低温冷却而消失,吸收系数也会随着保存大量的各向异性急剧下降。因此,tgc中的hrc是可能的。LBO晶体冷却特性的图解非常复杂,在低温下相位同步条件停止执行。然而,Z轴的温度稳定性和光电损耗大幅下降,并行x轴和Y轴的孢子化为tgc和mm设备提供了新的用途。正在讨论结果的细节,以及转换器在tgc范围内的潜在特性。
{"title":"Генерация терагерцового излучения в нелинейнооптических кристаллах BBO, LBO\u0000и KTP под действием интенсивного лазерного излучения","authors":"А. А. Мамрашев, Юрий Михайлович Андреев, Г. В. Ланский","doi":"10.34077/rcsp2019-77","DOIUrl":"https://doi.org/10.34077/rcsp2019-77","url":null,"abstract":"Нелинейные кристаллы бета-борат бария (β-BaB2O4, BBO), триборат лития (LiB3O5, LBO) и\u0000титанил-фосфат калия (KTiOPO4, KTP) широко используются в качестве преобразователей частоты\u0000лазерного излучения ближнего ИК-диапазона в пределах окон их прозрачности. На длине волны 1064\u0000нм их нелинейные коэффициенты принимают относительно невысокие значения: d22 = ±2,3 пм/В\u0000(BBO), d32 = ±0,85 пм/В (LBO) d33 = 10,7 пм/В (KTP) [1], однако, благодаря высокой лучевой\u0000прочности, в особенности боратов, и малому поглощению, они до сих пор остаются популярным.\u0000Учитывая эффективность кристаллов для преобразования частот в оптическом диапазоне, можно\u0000предположить, что они также применимы и для генерации разнолистной частоты (ГРЧ) в\u0000терагерцовый (ТГц) или миллиметровый (мм) диапазоны, поскольку данный процесс опирается на те\u0000же нелинейные коэффициенты. Принимая во внимание прогресс в развитии высокоинтенсивных\u0000лазерных установок, мотивацией данного исследования является перспектива создания компактных и\u0000мощных источников ТГц- и мм-диапазона, основанных на принципах нелинейной кристаллооптики и\u0000обладающих высокой спектральной яркостью.\u0000В данной работе с помощью импульсного терагерцового спектрометра (ЦКП «Спектроскопия и\u0000оптика», ИАиЭ СО РАН [2]) изучены оптические свойства кристаллов BBO, LBO и KTP в диапазоне\u00000,2 – 2 ТГц при комнатной (295 K) и криогенной (77 K) температурах. Определены дисперсионные\u0000свойства показателей преломления и аппроксимированы в виде уравнений Селмейера, по которым\u0000рассчитаны кривые фазового синхронизма для ГРЧ лазерного излучения ближнего ИК-диапазона .\u0000В результате установлено, что у кристаллов KTP и ВВО условия фазового синхронизма не\u0000исчезают с криогенным охлаждением, а коэффициенты поглощения резко падают с сохранением\u0000существенной анизотропии. Таким образом, ГРЧ в ТГц спектральный диапазон возможен. Картина\u0000изменения свойств кристаллов LBO с охлаждением чрезвычайно сложна, и условия фазового\u0000синхронизма перестают выполняться при криогенных температурах. Однако, обнаруженная\u0000температурная стабильность оси Z и значительное падение оптических потерь для волн с\u0000поляризацией параллельной осям Х и Y открывают новые перспективы использования данного\u0000кристалла для устройств ТГц- и мм-диапазонов. Обсуждаются детали полученных результатов и\u0000потенциальные характеристики преобразователей в ТГц-диапазон.","PeriodicalId":118786,"journal":{"name":"Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «ФОТОНИКА-2019»","volume":"16 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0,"publicationDate":"2019-05-24","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"128611450","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}
引用次数: 0
Экспрессная характеризация кристаллического совершенства структур CdхHg1-xTeметодом генерации на отражение второй гармоники зондирующего излучения 晶体完美结构cdhhg1 - xtete法反映探测辐射第二谐波
Представлены сравнительные результаты численного моделирования и эксперимента прирегистрации азимутальных угловых зависимостей сигнала отраженной от структур CdхHg1-xTe второйгармоники при нормальном падении на образец зондирующего лазерного излучения и азимутальномвращении плоскости его поляризации. Оценены возможности получения количественной икачественной информации о кристаллическом совершенстве слоев CdхHg1-xTe.
数字模拟和实验显示信号的方位角依赖于cdhh1 -xTe二和弦结构,正常下降到探测激光辐射样本和极化平面的方位扭曲。cdhh1 -xTe层晶体完美的可量化的、可控的信息被评估。
{"title":"Экспрессная характеризация кристаллического совершенства структур CdхHg1-xTe\u0000методом генерации на отражение второй гармоники зондирующего излучения","authors":"","doi":"10.34077/rcsp2019-119","DOIUrl":"https://doi.org/10.34077/rcsp2019-119","url":null,"abstract":"Представлены сравнительные результаты численного моделирования и эксперимента при\u0000регистрации азимутальных угловых зависимостей сигнала отраженной от структур CdхHg1-xTe второй\u0000гармоники при нормальном падении на образец зондирующего лазерного излучения и азимутальном\u0000вращении плоскости его поляризации. Оценены возможности получения количественной и\u0000качественной информации о кристаллическом совершенстве слоев CdхHg1-xTe.","PeriodicalId":118786,"journal":{"name":"Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «ФОТОНИКА-2019»","volume":"20 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0,"publicationDate":"2019-05-24","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"127787734","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}
引用次数: 0
Нелинейная ТГц фотоника жидкостей
Мы представляем результаты исследования широкого круга явлений, возникающих привзаимодействии мощных фемтосекундных лазерных импульсов оптического диапазона иимпульсного терагерцового (ТГц) излучения в жидкости.Впервые зарегистрирован эффект поляризационного взаимодействия трех эллиптическиполяризованных волн, распространяющихся в изотропной нелинейной жидкой среде - жидком азоте,при этом частота одной из волн находилась в ТГц диапазоне [1]. Также впервые показанавозможность преобразования оптического излучения фемтосекундной длительности в ТГц излучениев жидком азоте [2]. Исследована зависимость величины выхода ТГц излучения, генерируемоговблизи свободной поверхности жидкости, от условий фокусировки лазерного излучения припереходе через границу раздела, отделяющую газообразную фазу среды от ее жидкой фазы. Изученыособенности «одноцветного» и «двухцветного» режимов генерации ТГц излучения в жидком азоте.Представленные экспериментальные результаты подтверждены теоретической интерпретацией иявно указывают на принципиальное отличие механизмов, приводящих к генерации ТГц излучения вжидкой и в газообразной средах при воздействии на них фемтосекундными лазерными импульсами.На основе предложенной модели, развитой в рамках феноменологического подхода, показано, чтокак ионизация среды так и ее нелинейная восприимчивость играют значительную роль в генерацииТГц излучения в жидком азоте. Мы предположили и обосновали, что подвижность ионов иэлектронов в жидкости может играть существенную роль в этом процессе, формируяквазистатическое электрическое поле с помощью механизма амбиполярной диффузии. Этоквазистационарное поле участвует в генерации ТГц излучения за счет нелинейного эффекта третьегопорядка. Когерентное поляризационно-чувствительное нелинейное взаимодействие трехэллиптически поляризованных электромагнитных волн, одна из которых на ТГц частоте, при ихсовместном распространении в нелинейной изотропной среде, также хорошо описывается в рамкахфеноменологического подхода. Мы показали, что Керровская нелинейность изотропной среды,возникающая в результате четырехволнового смешения Ω ≈ 2ω – ω – ω (ωТГц= Ω) благодаряэллиптически поляризованным волнам на основной и удвоенной частотах, распространяющимсяколлинеарно с ТГц излучением, оказывает заметное влияние на состояние поляризации ТГцизлучения. Наблюдаемые при этом изменение эллиптичности поляризации ТГц волны и вращениеглавной оси эллипса поляризации, могут быть хорошо описаны в рамках физического подхода,аналогичного использованному для объяснения самовращения эллипса поляризации впервыеописанного в 1964 году Макером и др. [3], но расширенного для случая многочастотноговзаимодействия.
我们展示了广泛的研究结果,这些现象是由强大的费米秒激光脉冲在流体中产生的。第一次记录了三种椭圆极化波在各向同性非线性液氮介质中传播的极化效应,其中一种波的频率在(1)范围内。它还首次显示了在液态氮辐射下,可以将femto秒光辐射转化为thc辐射(2)的可能性。研究了tc辐射释放率与激光束聚焦条件之间的关系,使气体介质与液体相分离。研究液氮中thc产生模式的单色和双色模式。实验结果通过理论上的解释得到证实,这清楚地表明,通过费米秒激光脉冲产生tc的机制的根本区别。根据现现学方法中提出的模型,介质电离及其非线性敏感性在液氮中的辐射产生中都起着重要作用。我们假设并证明流体中的电子离子的流动可以在这个过程中发挥重要作用,通过双极扩散机制形成一个准静电场。这个准稳态场通过非线性三级效应参与产生thc辐射。三椭圆极化电磁波的相干-灵敏非线性相互作用,其中一种电磁波在非线性迷向介质中共同传播,在框架现象学方法中也得到了很好的描述。我们表明,非线性产生的各向同性介质керровск结果Ω琳четырехволнов混合2ωωω(ωthz =Ω)благодаряэллиптическ极化担心主要倍频和распространяющимсяколлинеарнthz辐射极化状态тгцизлучен产生显著影响。在这种情况下,在物理方法中可以很好地描述thc极化的椭圆性和偏振椭圆的旋转性的变化,类似于1964年麦克和(3)所描述的解释椭圆自旋的物理方法。
{"title":"Нелинейная ТГц фотоника жидкостей","authors":"","doi":"10.34077/rcsp2019-45","DOIUrl":"https://doi.org/10.34077/rcsp2019-45","url":null,"abstract":"Мы представляем результаты исследования широкого круга явлений, возникающих при\u0000взаимодействии мощных фемтосекундных лазерных импульсов оптического диапазона и\u0000импульсного терагерцового (ТГц) излучения в жидкости.\u0000Впервые зарегистрирован эффект поляризационного взаимодействия трех эллиптически\u0000поляризованных волн, распространяющихся в изотропной нелинейной жидкой среде - жидком азоте,\u0000при этом частота одной из волн находилась в ТГц диапазоне [1]. Также впервые показана\u0000возможность преобразования оптического излучения фемтосекундной длительности в ТГц излучение\u0000в жидком азоте [2]. Исследована зависимость величины выхода ТГц излучения, генерируемого\u0000вблизи свободной поверхности жидкости, от условий фокусировки лазерного излучения при\u0000переходе через границу раздела, отделяющую газообразную фазу среды от ее жидкой фазы. Изучены\u0000особенности «одноцветного» и «двухцветного» режимов генерации ТГц излучения в жидком азоте.\u0000Представленные экспериментальные результаты подтверждены теоретической интерпретацией и\u0000явно указывают на принципиальное отличие механизмов, приводящих к генерации ТГц излучения в\u0000жидкой и в газообразной средах при воздействии на них фемтосекундными лазерными импульсами.\u0000На основе предложенной модели, развитой в рамках феноменологического подхода, показано, что\u0000как ионизация среды так и ее нелинейная восприимчивость играют значительную роль в генерации\u0000ТГц излучения в жидком азоте. Мы предположили и обосновали, что подвижность ионов и\u0000электронов в жидкости может играть существенную роль в этом процессе, формируя\u0000квазистатическое электрическое поле с помощью механизма амбиполярной диффузии. Это\u0000квазистационарное поле участвует в генерации ТГц излучения за счет нелинейного эффекта третьего\u0000порядка. Когерентное поляризационно-чувствительное нелинейное взаимодействие трех\u0000эллиптически поляризованных электромагнитных волн, одна из которых на ТГц частоте, при их\u0000совместном распространении в нелинейной изотропной среде, также хорошо описывается в рамках\u0000феноменологического подхода. Мы показали, что Керровская нелинейность изотропной среды,\u0000возникающая в результате четырехволнового смешения Ω ≈ 2ω – ω – ω (ωТГц= Ω) благодаря\u0000эллиптически поляризованным волнам на основной и удвоенной частотах, распространяющимся\u0000коллинеарно с ТГц излучением, оказывает заметное влияние на состояние поляризации ТГц\u0000излучения. Наблюдаемые при этом изменение эллиптичности поляризации ТГц волны и вращение\u0000главной оси эллипса поляризации, могут быть хорошо описаны в рамках физического подхода,\u0000аналогичного использованному для объяснения самовращения эллипса поляризации впервые\u0000описанного в 1964 году Макером и др. [3], но расширенного для случая многочастотного\u0000взаимодействия.","PeriodicalId":118786,"journal":{"name":"Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «ФОТОНИКА-2019»","volume":"10 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0,"publicationDate":"2019-05-24","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"121979274","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}
引用次数: 0
期刊
Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «ФОТОНИКА-2019»
全部 Acc. Chem. Res. ACS Applied Bio Materials ACS Appl. Electron. Mater. ACS Appl. Energy Mater. ACS Appl. Mater. Interfaces ACS Appl. Nano Mater. ACS Appl. Polym. Mater. ACS BIOMATER-SCI ENG ACS Catal. ACS Cent. Sci. ACS Chem. Biol. ACS Chemical Health & Safety ACS Chem. Neurosci. ACS Comb. Sci. ACS Earth Space Chem. ACS Energy Lett. ACS Infect. Dis. ACS Macro Lett. ACS Mater. Lett. ACS Med. Chem. Lett. ACS Nano ACS Omega ACS Photonics ACS Sens. ACS Sustainable Chem. Eng. ACS Synth. Biol. Anal. Chem. BIOCHEMISTRY-US Bioconjugate Chem. BIOMACROMOLECULES Chem. Res. Toxicol. Chem. Rev. Chem. Mater. CRYST GROWTH DES ENERG FUEL Environ. Sci. Technol. Environ. Sci. Technol. Lett. Eur. J. Inorg. Chem. IND ENG CHEM RES Inorg. Chem. J. Agric. Food. Chem. J. Chem. Eng. Data J. Chem. Educ. J. Chem. Inf. Model. J. Chem. Theory Comput. J. Med. Chem. J. Nat. Prod. J PROTEOME RES J. Am. Chem. Soc. LANGMUIR MACROMOLECULES Mol. Pharmaceutics Nano Lett. Org. Lett. ORG PROCESS RES DEV ORGANOMETALLICS J. Org. Chem. J. Phys. Chem. J. Phys. Chem. A J. Phys. Chem. B J. Phys. Chem. C J. Phys. Chem. Lett. Analyst Anal. Methods Biomater. Sci. Catal. Sci. Technol. Chem. Commun. Chem. Soc. Rev. CHEM EDUC RES PRACT CRYSTENGCOMM Dalton Trans. Energy Environ. Sci. ENVIRON SCI-NANO ENVIRON SCI-PROC IMP ENVIRON SCI-WAT RES Faraday Discuss. Food Funct. Green Chem. Inorg. Chem. Front. Integr. Biol. J. Anal. At. Spectrom. J. Mater. Chem. A J. Mater. Chem. B J. Mater. Chem. C Lab Chip Mater. Chem. Front. Mater. Horiz. MEDCHEMCOMM Metallomics Mol. Biosyst. Mol. Syst. Des. Eng. Nanoscale Nanoscale Horiz. Nat. Prod. Rep. New J. Chem. Org. Biomol. Chem. Org. Chem. Front. PHOTOCH PHOTOBIO SCI PCCP Polym. Chem.
×
引用
GB/T 7714-2015
复制
MLA
复制
APA
复制
导出至
BibTeX EndNote RefMan NoteFirst NoteExpress
×
0
微信
客服QQ
Book学术公众号 扫码关注我们
反馈
×
意见反馈
请填写您的意见或建议
请填写您的手机或邮箱
×
提示
您的信息不完整,为了账户安全,请先补充。
现在去补充
×
提示
您因"违规操作"
具体请查看互助需知
我知道了
×
提示
确定
Book学术官方微信
Book学术文献互助
Book学术文献互助群
群 号:481959085
Book学术
文献互助 智能选刊 最新文献 互助须知 联系我们:info@booksci.cn
Book学术提供免费学术资源搜索服务,方便国内外学者检索中英文文献。致力于提供最便捷和优质的服务体验。
Copyright © 2023 Book学术 All rights reserved.
ghs 京公网安备 11010802042870号 京ICP备2023020795号-1