В данной работе было установлено влияние отжига различной продолжительности при температурах 300, 350, 400 °C на параметры Ti/InAlAs БШ.
在丹麦工作设置影响不同退火притемператур300,350,时长400°C Ti / InAlAs你参数。
{"title":"Влияние состава слоёв металлизации и отжига в формовочном газе на параметры\u0000барьеров Шоттки на основе In0.52Al0.48As","authors":"И. Ю. Гензе, М.С. Аксенов, Н. А. Валишева","doi":"10.34077/rcsp2021-37","DOIUrl":"https://doi.org/10.34077/rcsp2021-37","url":null,"abstract":"В данной работе было установлено влияние отжига различной продолжительности при\u0000температурах 300, 350, 400 °C на параметры Ti/InAlAs БШ.","PeriodicalId":356596,"journal":{"name":"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ","volume":"20 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0,"publicationDate":"2021-09-27","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"127684945","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}